硅微型慣性器件理論及應(yīng)用

定　價：￥20.00

作　者：	王壽榮編著
出版社：	東南大學出版社
叢編項：
標　簽：	硅

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ISBN：	9787810506939	出版時間：	2000-01-01	包裝：	膠版紙
開本：	26cm	頁數(shù)：	178頁	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書系統(tǒng)地介紹了硅微型慣性器件的理論及應(yīng)用問題。全書共7章，第1章介紹微型慣性器件的物理基礎(chǔ)；第2章至第4章為硅微型慣性器件的原理及誤差分析，第5章介紹硅微型慣性器件的制備工藝；第6章簡介幾種微電容測量方法及硅微型慣性儀表的測控回路；第7章為硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用。本書系中國船舶工業(yè)總公司“九五”規(guī)劃教材，可作為高等學校測控技術(shù)與儀器及其相關(guān)專業(yè)的研究生，本科生的教學參考書，也可供從事傳感器、執(zhí)行器及慣性技術(shù)研究的工程技術(shù)人員閱讀。

作者簡介

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圖書目錄

0　緒論
　0.1　微機系統(tǒng)與微型制造技術(shù)
　0.2　硅微型慣性器件及微慣性測量組合
1　微型慣性器件的物理基礎(chǔ)
　1.1　硅材料的物理性能
　1.2　微型慣性器件的動力學基礎(chǔ)
　1.3　微機械元件的彈性理論基礎(chǔ)
2　硅微型加速度計
　2.1　概述
　2.2　原理結(jié)構(gòu)
　2.3　誤差分析及補償
　2.4　硅微加速度計的測試與定標
3　硅微型框架驅(qū)動或陀螺儀
　3.1　結(jié)構(gòu)組成和作用原理
　3.2　運動方程
　3.3　誤差分析
　3.4　結(jié)構(gòu)設(shè)計
4　硅微型梳狀驅(qū)動陀螺儀
　4.1　音叉式振動陀螺儀
　4.2　靜電梳狀驅(qū)動諧振器
　4.3　硅微型梳狀線振動驅(qū)動式陀螺儀
　4.4　硅微型梳狀角振動驅(qū)動式陀螺儀
　4.5　諧振頻率的調(diào)節(jié)
　4.6　硅微型振動陀螺儀的計算機輔助分析
5　硅微型慣性器件的制備
　5.1　硅微機械加工技術(shù)簡介
　5.2　硅微型慣性器件的制備
6　硅微型慣性儀表的測控技術(shù)
7　硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用
參考文獻