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真空沉積技術(shù)

真空沉積技術(shù)

定　價：￥7.45

作　者： 李學(xué)丹等編著
出版社： 浙江大學(xué)社
叢編項：
標(biāo)　簽： 真空治積
ISBN： 9787308013260 出版時間： 1994-08-01 包裝： 平裝
開本： 26cm 頁數(shù)： 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書內(nèi)容有：真空與低溫等離子體物理基礎(chǔ)、成膜技術(shù)、薄膜的檢測與分析等。

作者簡介

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