新型傳感器技術(shù)及應(yīng)用

     目錄
   第一章 傳感器敏感材料
    一、半導(dǎo)體硅材料
    1.單晶硅
    2.多晶硅
    3.非晶體硅
    4.硅藍(lán)寶石
    二、化合物半導(dǎo)體材料
    三、石英敏感材料
    1.石英晶體
    2.石英玻璃
    四、精密陶瓷材料
    五、ZnO薄膜
    六、鐵電聚合物
    七、非晶態(tài)磁性合金
    八、形狀記憶合金
    九、復(fù)合材料
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第二章 微機(jī)械加工技術(shù)
    一、概 述
    二、硅微機(jī)械加工技術(shù)
    1.刻蝕技術(shù)
    2.薄膜技術(shù)
    3.薄膜參數(shù)及其測量方法
    4.固相鍵合工藝
    三、X射線深層光刻電鑄成型技術(shù)
    四、微型傳感器結(jié)構(gòu)
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第三章 傳感器的建模
    一、概 述
    二、理論基礎(chǔ)
    1.彈性體的力平衡方程
    2.彈性體的幾何方程
    3.彈性體的物理方程
    4.彈性體的彈性勢能
    5.彈性體外力的功
    6.虛功原理
    7.彈性體的動能
    8.彈性體的能量泛函原理
    9.Hamilton原理
    10.建模的一般方法
    三、梁的建模
    1.受軸向力兩端固支梁
    2.改型懸臂梁
    四、平膜片的建模
    1.周邊固支的平膜片
    2.近似解析解
    3.算 例
    4.結(jié) 論
    五、波紋膜片的建模
    1.受均布壓力的波紋膜片
    2.受集中力的波紋膜片
    3.算 例
    六、E型膜片的建模
    1.基本方程
    2.受集中力的E型膜片
    3.受均布壓力的E型膜片
    4.算 例
    七、帶有頂蓋的圓柱殼的建模
    1.基本方程
    2.圓柱殼環(huán)單元的有限元列式
    3.算 例
    八、頂端開口圓柱殼的建模
    1.基本方程
    2.底端約束的特征
    3.約束因子
    九、半球殼的建模
    1.簡 述
    2.半球殼的振動方程
    3.半球殼的振型進(jìn)動特性
    4.半球殼的耦合振動
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第四章 硅電容式集成傳感器
    一、概 述
    二、硅電容式集成壓力傳感器
    三、硅電容式集成壓力傳感器的接口電路
    1.開關(guān)－電容接口電路
    2.電容頻率變換電路
    四、硅電容式加速度傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第五章 諧振式傳感器
    一、概 述
    二、諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論
    1.基本結(jié)構(gòu)
    2.閉環(huán)自激
    3.敏感機(jī)理
    4.諧振子的Q值
    5.設(shè)計要點
    6.特征與優(yōu)勢
    三、振動筒壓力傳感器
    1.簡 述
    2.壓電激勵特性
    3.拾振信號的轉(zhuǎn)換
    4.穩(wěn)定的單模態(tài)自激系統(tǒng)的實現(xiàn)
    5.雙重模態(tài)的有關(guān)問題
    四、諧振式角速率傳感器
    1.簡 述
    2.壓電激勵諧振式圓柱殼角速率傳感器
    3.靜電激勵半球諧振式角速率傳感器
    五、諧振式直接質(zhì)量流量傳感器
    1.簡 述
    2.測量理論
    六、硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器
    1.簡 述
    2.熱激勵方式
    3.差動式硅諧振微傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第六章 聲表面波傳感器
    一、概 述
    二、聲表面波技術(shù)基礎(chǔ)知識
    1.聲表面波的類型
    2.聲表面波的主要性質(zhì)
    3.聲表面波叉指換能器
    三、聲表面波傳感器理論基礎(chǔ)
    1.聲表面波振蕩器的結(jié)構(gòu)組成及其工作原理
    2.測量各種物理量的理論分析
    四、各種聲表面波傳感器
    1.SAW壓力傳感器
    2.SAW加速度傳感器
    3.SAW氣體傳感器
    4.SAW角速度傳感器
    5.SAW流量傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第七章 薄膜傳感器
    一、概 述
    二、幾種薄膜傳感器
    1.薄膜應(yīng)變電阻及傳感器
    2.薄膜熱敏元件及傳感器
    3.薄膜氣敏元件及傳感器
    4.薄膜磁敏元件及傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第八章 光纖傳感器
    一、概 述
    二、光纖的導(dǎo)波原理
    三、光纖的傳輸損耗
    1.吸收損耗
    2.散射損耗
    3.輻射損耗
    四、強(qiáng)度調(diào)制光纖傳感器
    1.光纖微彎傳感器
    2.反射式光纖位移傳感器
    3.反射式光纖壓力傳感器
    4.半導(dǎo)體吸收式光纖溫度傳感器
    5.折射率調(diào)制光纖傳感器
    五、相位調(diào)制光纖傳感器
    1.馬赫－澤德爾干涉儀
    2.薩格納克干涉儀
    3.法布里－泊羅干涉儀
    4.邁克爾遜干涉儀
    六、偏振態(tài)調(diào)制光纖傳感器
    1.光纖電流傳感器
    2.光纖電壓傳感器
    3.偏振態(tài)調(diào)制型光纖加速度傳感器
    七、頻率調(diào)制光纖傳感器
    八、分布式光纖傳感器
    1.概 述
    2.損傷評估
    3.應(yīng)變測量
    4.OTDR測量原理
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第九章 場效應(yīng)管型化學(xué)傳感器
    一、離子敏傳感器
    1.MOSFET的基本原理
    2.ISFET的工作原理
    3.ISFET敏感膜的種類
    4.ISFET的結(jié)構(gòu)
    5.多功能ISFET
    6.ISFET的特點
    7.ISFET的應(yīng)用
    二、氣敏傳感器
    1.氫氣敏MOSFET
    2.一氧化碳?xì)饷鬚dMOSFET
    3.氧化敏MOSFET
    4.氨氣敏MOSFET
    三、濕敏傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第十章 固態(tài)成象傳感器
    一、概 述
    二、CCD的基本結(jié)構(gòu)與MOS 電容器
    1.結(jié)構(gòu)
    2.MOS電容器與CCD
    3.CCD的基本工作原理
    三、CCD成象傳感器
    1.線列CCD成象傳感器
    2.面陣CCD成象傳感器
    四、CCD成象傳感器的主要特性
    1.調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）
    2.輸出飽和特性
    3.暗電流
    4.靈敏度
    5.光譜響應(yīng)及背面照光
    6.信噪比與動態(tài)范圍
    五、紅外固態(tài)成象傳感器
    1.引 言
    2.混合式IRCCD傳感器
    3.單片集成式IR－CCD傳感器
    六、微光CCD象傳感器
    思考題
    參考文獻(xiàn)
   第十一章Smart傳感器
    一、Smart傳感器的含義
    二、基本傳感器
    三、Smart傳感器中的軟件
    1.標(biāo)度變換技術(shù)
    2.數(shù)字調(diào)零技術(shù)
    3.非線性補(bǔ)償
    4.溫度補(bǔ)償
    5.數(shù)字濾波技術(shù)
    四、應(yīng) 用
    五、發(fā)展前景
    思考題
    參題文獻(xiàn)