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離子束技術及應用

離子束技術及應用

定　價：￥15.80

作　者： 劉金聲編著
出版社： 國防工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 離子束
ISBN： 9787118013122 出版時間： 1995-01-01 包裝：
開本： 21cm 頁數： 315頁 字數：  

內容簡介

　　本書分六章：電子轟擊離子源等離子體特性及設計基礎; 離子光學系統(tǒng)及基本設計方法; 離子源結構設計優(yōu)化法; 離子源陰極的設計方法; 離子束刻蝕（IBE）工藝基礎; IBE在器件制造中的應用.

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