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微電子生產工藝實用手冊

微電子生產工藝實用手冊

定　價：￥10.50

作　者： 王家源，劉長恩主編
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 微電子技術
ISBN： 9787505315273 出版時間： 1992-06-01 包裝：
開本： 20cm 頁數： 437頁 字數：  

內容簡介

　　本書共收入了微電子產品制造技術、生產工藝、生產裝置、成套設備、檢測儀器、原輔材料、輔助設施、工具及零部件等方面的詞條900余條，并附漢-英和英-漢詞條索引。

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