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超大規(guī)模集成電路工藝學

超大規(guī)模集成電路工藝學

定　價：￥4.80

作　者： （美）史西蒙（Sze，S.M.）主編；史常忻譯
出版社： 上海交通大學出版社
叢編項：
標　簽： 超大規(guī)模集成電路 工藝學
ISBN： 9787313000460 出版時間： 1987-10-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 456頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書討論了硅集成電路的工藝原理，包括晶體生長和片子制備，外延介質(zhì)和多晶硅淀積等。

作者簡介

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