微型機械導論

第1章 初識微型機械
1.1 一個引人入勝的話題
1.1.1 從童話中的小人國談起
1.1.2 科幻小說中的微型機械
1.1.3 微型科技的曙光
1.2 小機械，大機會
1.2.1 歷史的回顧
1.2.2 關(guān)于微型機械的起源
1.2.3 微型科技為什么如此受歡迎
1.2.4 小機械包含著大課題
1.3 什么是微機電系統(tǒng)
1.4 有關(guān)的國際刊物、會議和網(wǎng)站
參考文獻
第2章 怎樣制作微型機械（一）——傳統(tǒng)的超精密加工方法
2.1 概述
2.1.1 微型機械加工的特點
2.1.2 常用的微型機械加工方法的分類
2.2 利用超精密加工工具加工微型器材
2.2.1 微細磨削加工
2.2.2 微細磨料加工
2.2.3 微細放電加工（MEDM）
2.2.4 金屬絲放電磨削加工（QEDG）
2.3 特種加工工藝
2.3.1 激光束微細加工技術(shù)
2.3.2 電子束微細加工技術(shù)
2.3.3 聚焦離子束（FIB）微細加工技術(shù)
參考文獻
第3章 怎樣制作微型機械（二）——微型機械中常用的IC工藝
3.1 概述
3.2 IC工藝的主要步驟
3.2.1 晶體生長和晶片制備（Crystal Growth and Wafering）
…………
第4章 怎樣制作微型機械（三）——硅微結(jié)構(gòu)制作工藝
第5章 怎樣制作微型機械（四）——一些有發(fā)展前景的工藝
第6章 微型傳感器
第7章 微型執(zhí)行器
第8章 微結(jié)構(gòu)與微系統(tǒng)
第9章 微型機械的設(shè)計和建模
第10章 微型機械的檢測技術(shù)
第11章 展望微型機械的未來
附錄 微型機械常用詞匯（英漢對照）