微機電系統(tǒng)設計與制造

第一章 概述
1.1 微機電系統(tǒng)簡介
1.2 微機電系統(tǒng)的起源
1.3 微機電系統(tǒng)發(fā)展現(xiàn)狀
第二章 微機電系統(tǒng)材料
2.1 硅材料
2.2 壓電材料
2.3 形狀記憶合金
2.4 超磁致伸縮材料
2.5 凝膠
2.6 電流變體
第三章 微機械加工技術
3.1 傳統(tǒng)超精密與特種加工技術
3.2 微機電系統(tǒng)常用的集成電路工藝
3.3 硅微機械加工技術
3.4 光刻電鑄模造技術
3.5 微機械加工實例
第四章 微封裝
4.1 封裝技術
4.2 三維堆裝
4.3 未來微機電系統(tǒng)封裝發(fā)展趨勢和方向
第五章 微檢測技術
5.1 微結(jié)構(gòu)的材料特性檢測技術
5.2 微機電系統(tǒng)構(gòu)件的幾何量檢測
5.3 微系統(tǒng)的性能檢測
第六章 微傳感器
6.1 物理傳感器
6.2 微型化學傳感器
6.3 微型生物傳感器
第七章 微執(zhí)行器
7.1 靜電執(zhí)行器
7.2 壓電執(zhí)行器
7.3 電磁執(zhí)行器
7.4 SMA執(zhí)行器
7.5 熱執(zhí)行器
7.6 微流體執(zhí)行器
第八章 微構(gòu)件
8.1 結(jié)構(gòu)梁
8.2 薄膜
8.3 鉸鏈
8.4 隧道探針
8.5 壓電換能器件
8.6 靜電微構(gòu)件
第九章 微系統(tǒng)應用
9.1 在汽車工業(yè)中的應用
9.2 微機器人
9.3 微型飛行器
9.4 在航空航天中的應用
9.5 在醫(yī)學中的應用
9.6 在軍事中的應用
9.7 在生物科學中的應用
9.8 在信息技術中的應用
第十章 微尺度效應
10.1 微摩擦基礎
10.2 微尺度熱學
10.3 微流體尺度效應
10.4 微執(zhí)行器的尺度效應
第十一章 微機電系統(tǒng)設計技術
11.1 引言
11.2 微機電系統(tǒng)設計的概念、任務及類型
11.3 微機電系統(tǒng)設計過程
11.4 微機電系統(tǒng)健壯性設計方法簡介
11.5 微機電系統(tǒng)設計方法學與發(fā)展方向
第十二章 微機電系統(tǒng)計算機輔助技術
12.1 MEMS CAD設計原則
12.2 MEMS CAD 結(jié)構(gòu)體系
12.3 MEMS建模與仿真
12.4 宏模型
12.5 建模語言VHDL-AMS簡介
12.6 常用軟件介紹