壓力傳感器的設計制造與應用

第一章 晶全及其能帶結構
第一節(jié) 空間點陳和晶體結構
第二節(jié) 晶體的能帶結構
第三節(jié) 晶體的物理常數及其坐標變換
參考文獻
第二章 壓力傳感器的基本原理
第一節(jié) 單晶硅的壓阻效應
第二節(jié) 擴散硅的壓阻效應
第三節(jié) 多晶硅的壓阻效應
附錄 任意晶向壓阻系數的計算
參考文獻
第三章 壓力傳感器中承壓彈性膜的應力計算
第一節(jié) 彈性力學基礎
第二節(jié) 承壓彈性薄膜的應力分析
第三節(jié) 壓力傳感器彈性膜二維有限元法的應力計算
第四節(jié) 壓力傳感器三維有限無法應力計算簡介
參考文獻
第四章 壓力傳感器芯片版圖設計
第一節(jié) 合理利用壓阻系數
第二節(jié) 力敏電阻條的設計
第三節(jié) 二極管與三極管的設計
第四節(jié) 失效與可靠性問題
參考文獻
第五章 壓力傳感器的襯底制備
第一節(jié) 硅單晶片拋光的基本原理
第二節(jié) 襯底片的清洗
第三節(jié) 外延工藝原理
第四節(jié) 硅—硅鍵合工藝原理
參考文獻
第六章 壓力傳感器的管芯制備
第一節(jié) 氧化膜的制備
第二節(jié) 擴散工藝原理
第三節(jié) 光刻工藝原理
參考文獻
第七章 硅壓力傳感器的微機械加工
第八章 壓力傳感器的封裝
第九章 壓力傳感器的引線
第十章 壓力傳感器的技術性能與選用
第十一章 壓力傳感器的熱漂移及其補償技術
第十二章 壓力偉感器的信號調理
第十三章 壓力付感器的智能化技術
第十四章 其他種類壓力傳感器
第十五章 壓力傳感器的應用
附錄