微細加工技術(shù)

　　《微細加工技術(shù)》是《現(xiàn)代加工技術(shù)叢書》之一?！段⒓毤庸ぜ夹g(shù)》從微細加工技術(shù)的基礎(chǔ)知識講起，較為詳細地介紹了光學(xué)曝光技術(shù)、光學(xué)分辨率增強技術(shù)、電子束光刻技術(shù)、X射線光刻技術(shù)、極端遠紫外光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)以及其他納米加工技術(shù)?！段⒓毤庸ぜ夹g(shù)》較為全面地反映了我國微細加工技術(shù)的現(xiàn)狀，并在此基礎(chǔ)上介紹了國際微細加工的先進技術(shù)及其發(fā)展趨勢，是從事微細加工技術(shù)的科研人員、本科生、研究生以及對微電子感興趣的人員的參考書。

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