微納加工中的精密工件臺技術

第一章 緒論
第一節(jié) 精密工件臺
一、工件臺的定義和分類
二、精密工件臺的組成和分類
三、精密工件臺的用途
第二節(jié) 精密工件臺技術的發(fā)展
一、精密工件臺技術的發(fā)展概況
二、當前工件臺達到的最高性能指標
三、國內(nèi)的發(fā)展狀況
第三節(jié) 本書的內(nèi)容和目的
第二章 精密測量技術
第一節(jié) 概述
第二節(jié) 光柵測量技術
一、光柵位移檢測原理
二、高分辨率的實現(xiàn)
三、光柵測量的精度分析
第三節(jié) 激光干涉儀測量技術
一、一些基本概念
二、激光干涉儀
三、雙頻激光干涉儀中的幾項關鍵技術
四、測量系統(tǒng)
五、平面鏡激光干涉儀的對準分析和測量誤差分析
六、平面鏡激光干涉儀的安裝與調(diào)整
第三章 高速、高精度直線驅(qū)動技術
第一節(jié) 高速、高精度直線驅(qū)動技術概況
一、高速、高精度直線驅(qū)動技術
二、直線驅(qū)動技術分類
第二節(jié) 間接驅(qū)動技術
一、旋轉(zhuǎn)電機
二、滾珠絲杠副
第三節(jié) 直接驅(qū)動技術
一、電磁式直線電機的直接驅(qū)動
二、壓電直線電機的直接驅(qū)動
第四章 直線導向技術
第一節(jié) 概述
一、直線導軌的導向原理
二、對導軌的基本要求
第二節(jié) 常用導軌的類型及其技術特性
一、塑料（PTEE）導軌
二、滾動導軌
三、靜壓導軌
四、彈簧導軌
五、磁懸浮導軌
第三節(jié) 導軌對工件臺的影響
一、導向精度對測量精度的影響
二、導軌類型對位移分辨率的影響
第五章 精密工件臺的結(jié)構型式
第一節(jié) 平面單層式結(jié)構
一、機械式平面單層結(jié)構
二、氣浮式平面單層結(jié)構
三、磁懸浮式平面單層結(jié)構
第二節(jié) 雙層結(jié)構
一、機械式雙層結(jié)構
二、靜壓式雙層結(jié)構
第三節(jié) 大行程納米級精密工件臺的實現(xiàn)
一、“十字”型工件臺結(jié)構
二、“H”型工件臺結(jié)構
三、六維磁懸浮納米級精密工件臺
第六章 微位移技術
第一節(jié) 微位移機構
一、機械傳動式微位移機構
二、扭輪摩擦傳動微位移機構
三、電熱變形致動式微位移機構
四、彈性變形傳動式微位移機構
五、磁致伸縮式微位移機構
六、壓電陶瓷或電致伸縮微位移機構
七、電磁驅(qū)動式微位移機構
八、其他
第二節(jié) 微位移傳感器
一、電阻應變式微位移傳感器
二、電容式微位移傳感器
第三節(jié) 微位移工件臺的設計和特性分析
一、設計要求
二、設計步驟
三、驅(qū)動和控制
四、實驗分析
第七章 控制技術
第一節(jié) 概述
一、主、從控制器
二、位置測量
三、驅(qū)動電路和驅(qū)動機構
四、位置顯示
五、限位保護系統(tǒng)
第二節(jié) 伺服控制系統(tǒng)
一、伺服控制系統(tǒng)的構成
二、伺服定位控制系統(tǒng)的基本分類
三、控制系統(tǒng)的控制方式
四、控制系統(tǒng)的特性及指標
五、控制系統(tǒng)對電動機的要求
第三節(jié) 電動機的控制
一、直流電動機伺服控制
二、交流電動機伺服控制
三、步進電機控制
四、超聲電機控制
第四節(jié) 控制系統(tǒng)的補償方法
一、串聯(lián)補償
二、負反饋補償
三、前饋補償
四、復合控制與擾動補償
五、順饋補償
六、常用的補償電路
七、常用的調(diào)節(jié)器
八、數(shù)字控制系統(tǒng)的PID調(diào)節(jié)器
第五節(jié) 信號檢測
一、電流檢測
二、電壓檢測
三、轉(zhuǎn)速檢測
四、位置檢測
第六節(jié) 幾種不同類型工件臺的控制
一、光柵掃描電子束曝光機工件臺的控制
二、X-Y-θ工件臺的伺服控制
三、平面步進電機X-Y-θ超精密工件臺的控制系統(tǒng)
第八章 精密工件臺的精度分析
第一節(jié) 精度分析
一、工件臺的用途及其工作原理
二、工件臺開環(huán)系統(tǒng)的精度分析
三、工件臺閉環(huán)系統(tǒng)的精度分析
第二節(jié) 工件臺的幾個性能指標及其測試方法
一、性能指標
二、測試方法
三、精度補償
第三節(jié) 高精度的保證
一、熱變形的控制
二、振動的控制
三、小結(jié)
第九章 精密工件臺的應用
第一節(jié) 精密工件臺在微電子產(chǎn)業(yè)中的應用
一、精密工件臺在光刻設備中的應用
二、精密工件臺在光學曝光系統(tǒng)中的功能
三、對套刻精度和生產(chǎn)率的影響
四、步進重復式精密工件臺
五、步進掃描式精密工件臺
六、精密工件臺在電子束掃描曝光機中的作用
七、x射線光刻機中應用的精密定位工件臺
八、幾種光刻技術中的工件臺比較
九、精密工件臺在掩模版修復儀中的應用
十、掩?；蚓蠄D形尺寸的測量
第二節(jié) 精密工件臺在坐標測量機中的應用
一、精密工件臺在工具顯微鏡中的應用
二、精密工件臺在三坐標測量機中的應用
第三節(jié) 在基于掃描探針顯微鏡技術的微加工系統(tǒng)中的應用
一、掃描探針顯微技術
二、基于AFM技術的微加工系統(tǒng)
第四節(jié) 精密工件臺在生物芯片技術中的應用
第五節(jié) 精密工件臺在機械制造中的應用
一、超精密車床
二、電火花切割加工設備
三、三維成型加工
第六節(jié) 小結(jié)
參考文獻