微型傳感器及其應用

目錄
第1章引言1
11傳感器1
12傳感器的發(fā)展3
13微傳感器4
第2章微機電系統(tǒng)基礎7
21微機電系統(tǒng)定義7
211基礎理論7
212技術基礎8
213應用研究9
22微機電系統(tǒng)材料10
221硅10
222形狀記憶合金15
223壓電材料／電致伸縮材料16
224磁致伸縮材料17
225電流變體17
226凝膠18
23微機電系統(tǒng)的主要工藝18
231硅微加工19
232鍵合技術24
233LIGA技術25
234準分子激光技術26
235特種精密加工技術26
第3章力和壓力微傳感器28
31力微傳感器28
311應變式力微傳感器28
312壓電式力微傳感器28
32壓力微傳感器30
321壓阻式壓力微傳感器31
322電容式壓力微傳感器33
323諧振式壓力微傳感器35
33摩托羅拉X型硅壓力微傳感器38
331結構形式38
332分類39
333封裝形式40
34應用實例：微型高度計41
第4章加速度和角速度微傳感器45
41加速度微傳感器45
411加速度微傳感器工作原理45
412壓阻式加速度微傳感器46
413電容式加速度微傳感器50
414諧振式加速度微傳感器55
415伺服式加速度微傳感器57
416隧道型加速度微傳感器58
417加速度微傳感器的應用59
42角速度微傳感器60
421微機械陀螺的原理.分類與性能60
422音叉式微機械陀螺64
423框架式微機械陀螺66
424振動輪式微機械陀螺68
43微慣性測量組合70
第5章熱微傳感器72
51微型熱電偶72
511熱電效應72
512接觸電動勢72
513溫差電動勢72
514薄膜熱電偶73
52半導體結的熱微傳感器74
521二極管溫度傳感器74
522晶體管溫度傳感器76
523集成溫度傳感器76
53熱敏電阻型微傳感器79
531熱敏電阻參數(shù)79
532PTC熱敏電阻79
533NTC熱敏電阻79
534CTR熱敏電阻80
第6章磁微傳感器81
61霍爾效應傳感器81
611霍爾效應81
612霍爾效應傳感器82
62磁阻傳感器84
621磁阻效應84
622磁阻元件87
623磁敏電阻的溫度補償89
63結型磁敏管傳感器90
631磁敏二極管90
632磁敏三極管94
633結型磁敏管傳感器的應用98
第7章化學微傳感器101
71氣體微傳感器101
711半導體氣體傳感器101
712石英振蕩式氣體傳感器107
713凝膠電化學氣體傳感器108
714集成復合型氣體傳感器108
72濕度微傳感器110
721半導體陶瓷濕度傳感器111
722多孔氧化物濕度傳感器112
723硅MOS型濕度傳感器113
73離子敏微傳感器114
731ISFET的工作原理114
732離子敏感膜117
第8章生物微傳感器119
81場效應晶體管型酶傳感器119
811酶的本質和特性119
812場效應晶體管型酶傳感器121
82壓電晶體免疫傳感器122
821免疫反應與免疫識別123
822免疫傳感器的檢測模式125
823壓電晶體免疫傳感器126
824壓電晶體免疫傳感器的應用127
83基因傳感器128
831基因與基因診斷128
832基因傳感器的基本結構和類型129
833壓電晶體DNA傳感器129
84基因芯片130
841基因芯片的構造與檢測原理130
842基因芯片的制備131
85基因芯片的應用舉例133
第9章光電微傳感器136
91光電傳感器的基本效應136
911光的基本性質136
912外光電效應136
913內光電效應137
914光熱效應138
92光電探測器138
921光敏電阻138
922光敏二極管139
923光敏晶體管142
93CCD傳感器144
931CCD的結構144
932CCD的工作原理144
933固態(tài)圖像傳感器146
934CCD攝像器件的主要特性147
935面陣CCD圖像傳感器不均勻性的校正148
936CCD器件的應用151
第10章聲表面波傳感器153
101聲表面波傳感器技術基礎153
1011聲表面波的類型153
1012聲表面波的主要性質158
1013聲表面波叉指換能器（IDT）160
1014聲表面波傳感器檢測原理164
102聲表面波壓力傳感器166
103聲表面波溫度傳感器169
104聲表面波氣體傳感器170
105聲表面波陀螺171
第11章微傳感器的應用173
111在汽車工業(yè)中的應用173
112在機器人中的應用175
1121微型機器人175
1122微型飛行器177
113在生物醫(yī)學方面的應用177
114在光學方面的應用180
115在航空航天方面的應用180
參考文獻183