真空材料

1 真空材料概述
1.1 真空材料的分類
1.2 電真空材料的分類與特性
1.2.1 電真空材料的分類
1.2.2 電真空材料的特性
1.3 真空系統(tǒng)平衡方程
2 材料的氣體滲透與擴(kuò)散
2.1 氣體分子的溶解與滲透
2.2 影響溶解度的因素
2.2.1 環(huán)境氣壓對溶解度的影響
2.2.2 溫度對溶解度的影響
2.2.3 氣體一固體配組的性質(zhì)對溶解度的影響
2.3 不同材料中的氣體溶解度
2.3.1 氣體在金屬中的溶解度
2.3.2 氣體在非金屬材料中的溶解度
2.4 氣體擴(kuò)散方程
2.5 氣體滲透速率
2.5.1 氣體對平板壁的滲透
2.5.2 氣體對圓筒壁的滲透
2.5.3 氣體對球形壁的滲透
2.5.4 不同氣體一固體配組的滲透性能
3 材料的放氣
4 材料的蒸發(fā)、升華與凝結(jié)
5 真空材料的其他性能與選材要求
6 金屬材料
7 磁性材料
8 濺射鍍膜靶材
9 非金屬材料
10 輔助密封材料
11 吸氣劑與吸附劑
12 真空工程用油
13 真空工程中的常用氣體
14 低溫制冷系統(tǒng)工作介質(zhì)
參考文獻(xiàn)