全書共分8章,主要內(nèi)容有:真空材料的表面凈化處理、真空材料的除氣、真空系統(tǒng)的檢測技術(shù)、真空系統(tǒng)內(nèi)殘余氣體的分析與測量、真空系統(tǒng)的操作與維護(hù)、真空工程用焊接技術(shù)、真空工程封接技術(shù)、真空器件的電擊穿及預(yù)防措施。 本書集基礎(chǔ)理論和實(shí)踐應(yīng)用技術(shù)于一體,理論與工程實(shí)踐有機(jī)結(jié)合,適合于真空技術(shù)、薄膜與表面工程、材料工程、低溫工程、應(yīng)用物理、機(jī)械設(shè)計(jì)等行業(yè)從事研究、設(shè)計(jì)、設(shè)備操作與維護(hù)的技術(shù)人員,也適用于進(jìn)行與真空技術(shù)相關(guān)的科學(xué)研究及實(shí)驗(yàn)的技術(shù)人員和學(xué)生,還可作為大專院校相關(guān)專業(yè)師生的教材及參考書。