真空工藝與實驗技術

1 真空材料的表面凈化處理
1.1 材料表面的污染與凈化
1.1.1 材料表面常見的污染形式
1.1.2 材料表面凈化
1.2 表面凈化處理的基本方法
1.2.1 溶劑清洗
1.2.2 電化學清洗處理
1.2.3 加熱和輻照清洗
1.2.4 氣體加熱還原分解凈化表面
1.2.5 放電清洗
1.2.6 剝去覆蓋涂層清洗
1.2.7 氣體沖洗
1.3 清洗的基本程序
1.3.1 污染物的確定
1.3.2 清洗方法的確定
1.3.3 清洗溶劑的選擇
1.3.4 清洗程序及注意事項
1.4 非金屬材料的清洗
1.4.1 玻璃陶瓷的清洗
1.4.2 塑料與橡膠的清洗
1.5 清潔零件的存放
2 真空材料的除氣
2.1 氣體的吸附與脫附
2.1.1 吸附
2.1.2 脫附
2.2 材料除氣的基本方法
2.2.1 加熱烘烤除氣
2.2.2 電子束轟擊除氣
2.2.3 離子轟擊除氣
2.3 玻璃及陶瓷材料的除氣
2.3.1 玻璃材料的除氣
2.3.2 陶瓷材料的除氣
2.4 金屬材料的除氣
2.4.1 表面吸附氣體的除氣
2.4.2 表面化學反應產生的氣體去除
2.4.3 金屬件除氣的一般方法及工藝參數
2.5 電真空器件的除氣
2.5.1 器件外殼的除氣
2.5.2 器件內部電極的除氣
2.6 超高真空系統(tǒng)的烘烤除氣
2.6.1 除氣加熱方法
2.6.2 烘烤溫度與時間的選擇
2.6.3 循環(huán)使用的超高真空系統(tǒng)的除氣
2.6.4 高能粒子轟擊除氣
2.7 烘烤除氣裝置
3 真空系統(tǒng)的檢測技術
3.1 真空測量儀表與規(guī)管的選用和安裝
3.1.1 真空儀表的選用
3.1.2 真實規(guī)管的安裝
……
4 真空系統(tǒng)內殘余氣體的分析與測量
5 真空系統(tǒng)的操作與維護
6 真空工程焊接技術
7 真空工程封接技術
8 真空器件的電擊穿及預防措施
參考文獻