真空工程技術(shù)

第1篇真空工程的技術(shù)基礎(chǔ)
第1章稀薄氣體動(dòng)力論
　11稀薄氣體在平衡態(tài)下的物理特性
　　111氣體定律
　　112氣體分子的速率
　　113氣體分子之間的碰撞
　　114氣體分子自由程及其分布律
　　115氣體分子對表面的入射
　　116氣體分子從表面的反射
　12稀薄氣體在非平衡態(tài)下的遷移
　　121氣體的動(dòng)量遷移
　　122氣體的能量遷移
　　123氣體的質(zhì)量遷移
　　124熱流逸現(xiàn)象
　　125分子輻射力現(xiàn)象
　13稀薄氣體的流動(dòng)
　　131流動(dòng)狀態(tài)及其判別
　　132流動(dòng)參量
　　133黏滯流態(tài)的流量泊謖葉公式
　　134分子流態(tài)的流量——克努曾公式
　　135過渡流態(tài)的流量
第2章真空中的相變與氣固界面現(xiàn)象
　21蒸發(fā)和凝結(jié)
　　211蒸汽
　　212蒸氣壓
　　213蒸發(fā)率和凝結(jié)率
　22吸附
　　221吸附機(jī)理
　　222吸附參量
　　223物理吸附與化學(xué)吸附
　　224吸附動(dòng)力學(xué)
　　225吸附等溫線
　23溶解、擴(kuò)散和滲透
　　231氣體在固體中的溶解
　　232氣體在固體中的擴(kuò)散與滲透
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