光學投影曝光微納加工技術

前言
第一章 光學投影光刻基礎
第一節(jié) 微納光刻技術概述
一、微納加工光刻技術
二、微納加工光刻技術分類
第二節(jié) 光學投影光刻
一、光學投影光刻簡介
二、光學投影光刻技術的發(fā)展
三、光學投影光刻機分系統(tǒng)及關鍵單元技術
四、光學投影光刻在微納加工技術中的應用
參考文獻
第二章 投影曝光光學系統(tǒng)
第一節(jié) 投影光刻物鏡
一、光學基礎
二、投影光刻物鏡的光學材料
三、投影光刻物鏡的光學設計與評價
四、投影光刻物鏡的機械結構設計與制造
第二節(jié) 均勻照明系統(tǒng)
一、概述
二、紫外光照明系統(tǒng)
三、準分子激光深紫外照明系統(tǒng)
第三節(jié) 調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)
一、概述
二、檢焦技術
三、整場調(diào)平逐場調(diào)焦
四、逐場和實時調(diào)平調(diào)焦
參考文獻
第三章 掩模硅片對準
第一節(jié) 概述
一、對準工作原理
二、對準技術和方法
第二節(jié) 離軸對準技術
一、CCD視頻圖像離軸對準的工作原理
二、CCD視頻圖像離軸對準的對準標記、對準算法和精度分析
第三節(jié) 同軸對準技術
一、TIL衍射光柵同軸對準光學原理
二、TIL對準標記
三、TIL對準控制系統(tǒng)及數(shù)字信號處理
第四節(jié) 同軸對準與離軸對準相結合的對準技術
一、深紫外光刻對對準系統(tǒng)的要求
二、深紫外光刻的對準過程
三、深紫外光刻對準系統(tǒng)的對準標記
四、雙激光多級衍射光柵離軸對準(ATHENA)光學原理
五、ATHENA離軸對準的對準算法及工藝適應性
六、深紫外光刻同軸對準原理
第五節(jié) 硅片傳輸與硅片預對準技術
一、硅片傳輸系統(tǒng)
二、硅片預對準技術
第六節(jié) 掩模傳輸與掩模預對準技術
一、掩模傳輸系統(tǒng)
二、掩模預對準技術
參考文獻
第四章 精密定位工件臺
第一節(jié) 精密定位工件臺概述
一、精密定位工件臺的功能
二、精密定位工件臺的分類
三、精密定位工件臺的發(fā)展概況
第二節(jié) 工件臺系統(tǒng)精度分析
一、測量系統(tǒng)誤差
二、機械系統(tǒng)誤差
三、控制系統(tǒng)誤差
四、環(huán)境誤差
第三節(jié) 工件臺的技術指標與檢測方法
一、靜態(tài)性能方面
二、動態(tài)性能方面
三、工件臺的主要性能指標
第四節(jié) 精密硅片工件臺的機械結構
一、光刻機工件臺的母軌種類
二、光刻機工件臺的傳動機構與驅(qū)動電機
三、二軸粗動臺與三軸微動臺的結構及特點
四、掃描式硅片工件臺和掩模工件臺
五、氣浮工件臺的氣足設計
第五節(jié) 雙頻激光干涉測量系統(tǒng)
一、雙頻激光干涉測量系統(tǒng)
二、測量系統(tǒng)布局和坐標計算方法
三、雙頻激光干涉測量系統(tǒng)的裝配調(diào)整
四、雙頻激光干涉測量系統(tǒng)誤差分析
第六節(jié) 工件臺控制系統(tǒng)設計
一、三維精密工件臺控制系統(tǒng)設計
二、三維氣浮工件臺控制系統(tǒng)設計
參考文獻
第五章 分辨力增強技術
第一節(jié) 波前工程原理
第二節(jié) 離軸照明技術
一、OAI提高投影光刻成像系統(tǒng)分辨力和增大焦深的基本原理
二、四極照明
三、環(huán)形照明
四、二元光柵照明
第三節(jié) 相移掩模技術
一、PSM提高光刻分辨力的原理-
二、LevensonPSM
三、邊緣PSM
四、輔助PSM
五、無鉻PSM
六、衰減PSM
第四節(jié) 光學鄰近效應校正技術
一、鄰近效應現(xiàn)象與校正原理
二、線條偏置法
三、添加輔助線條法
四、灰階掩模法
第五節(jié) 光瞳濾波技術
一、光瞳濾波(PF)提高光刻分辨力的原理
二、振幅光瞳濾波
三、相移光瞳濾波
第六節(jié) 偏振成像控制技術
一、偏振成像控制提高光刻分辨力的原理
二、偏振成像控制方法
參考文獻
第六章 投影光刻整機集成
第一節(jié) 整機的主要性能
一、光刻動態(tài)分辨力與線條質(zhì)量
二、套刻坐標系及套刻精度
三、投影光刻機的生產(chǎn)效率
四、整機的可靠性
第二節(jié) 投影光刻機整機電控系統(tǒng)
一、控制系統(tǒng)結構
二、電源系統(tǒng)
第三節(jié) 投影光刻機整機軟件設計
一、投影光刻機的工作流程
二、整機測試軟件
三、整機軟件框架
第四節(jié) 環(huán)境控制系統(tǒng)
一、對投影光刻機內(nèi)部環(huán)境控制系統(tǒng)的要求及其組成
二、投影光刻機內(nèi)部環(huán)境控制系統(tǒng)的結構
三、投影光刻機對外部環(huán)境的要求
第五節(jié) 整機框架設計
一、投影光刻機的振動源
二、框架材料與線膨脹控制
三、整機框架結構實例
參考文獻
第七章 投影光刻技術的發(fā)展趨勢及納米光刻新技術的前景展望
第一節(jié) 光學投影光刻技術的潛力
第二節(jié) 光學投影光刻技術的最新進展
第三節(jié) 納米光刻新技術的前景展望
一、納米壓印技術
二、表面等離子體光學光刻
三、原子光刻
四、結語
參考文獻
附錄：國際主要投影光刻設備廠商機器型號