半導體制造工藝基礎(chǔ)

第1章　引言　
　1.1　半導體材料　
　1.2　半導體器件　
　1.3　半導體工藝技術(shù)　
　1.4　基本工藝步驟　
　1.5　總結(jié)　
　參考文獻
第2章　晶體生長　
　2.1　從熔融硅中生長單晶硅
　2.2　硅的區(qū)熔（float－zone）法單晶生長工藝
　2.3　砷化鎵晶體的生長技術(shù)　
　2.4　材料特性
　2.5　總結(jié)
　習題
　參考文獻
第3章　硅的氧化　
　3.1　熱氧化過程
　3.2　氧化過程中的雜質(zhì)再分布
　3.3　二氧化硅的掩模特性
　3.4　氧化質(zhì)量
　3.5　氧化層厚度特性
　3.6　氧化模擬
　3.7　總結(jié)　
　參考文獻
　習題
第4章　光刻
　4.1　光學光刻（Optical lithography）
　4.2　新一代的曝光法
　4.3　光刻模擬
　4.4　總結(jié)　
　參考文獻
　習題
第5章　刻蝕
　5.1　濕法化學刻蝕（wet chemical etching）
　5.2　干法刻蝕
　5.3　刻蝕仿真
　5.4　總結(jié)
　參考文獻
　習題
第6章　擴散　
　6.1　基本擴散工藝
　6.2　非本征擴散　
　6.3　橫向擴散　
　6.4　擴散模擬
　參考文獻
　習題
第7章　離子注入
　7.1　注入離子的范圍　
　7.2　注入損傷和退火
　7.3　注入相關(guān)工藝
　7.4　離子注入模擬
　7.5　習題
第8章　薄膜淀積
　8.1　外延生長技術(shù)
　8.2　外延層結(jié)構(gòu)及缺陷　
　8.3　電介質(zhì)淀積
　8.4　多晶硅淀積
　8.5　金屬化
　8.6　淀積模擬
　8.7　總結(jié)
　參考文獻
　習題
第9章　工藝集成
　9.1　無源單元　
　9.2　雙極型工藝
　9.3　MOSFET技術(shù)
　9.4　MESFET技術(shù)
　9.5　MEMS技術(shù)
　9.6　工藝模擬
　9.7　總結(jié)　
　參考文獻
　習題
第10章　集成電路制造
　10.1　電測試　
　10.2　封裝
　10.3　統(tǒng)計工藝控制
　10.4　統(tǒng)計實驗設計　
　10.5　成品率
　10.6　計算機集成制造
　10.7　總結(jié)　
　參考文獻
　習題
第11章　未來趨勢和挑戰(zhàn)
　11.1　未來的挑戰(zhàn)
　11.2　片上系統(tǒng)　
　11.3　總結(jié)
　參考文獻
　習題
附錄
索引