微型傳感器

1 引言
　1.1　微電子與微傳感器
　　1.1.1 微電子與微器件
　　1.1.2　微傳感器
　　1.1.3 微機電系統(tǒng)
　　1.1.4　微器件的相關(guān)理論與技術(shù)
　1.2　微傳感器與測量系統(tǒng)
　　1.2.1 測量系統(tǒng)
　　1.2.2　微傳感器的分類
　　1.2.3 微傳感器系統(tǒng)
　1.3 本書內(nèi)容的學(xué)習(xí)
　　1.3.1 專業(yè)文獻的查找
　　1.3.2 專業(yè)文獻的閱讀
　　1.3.3　數(shù)據(jù)的總結(jié)與表達
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　練習(xí)與思考
2 微傳感器與信號
　2.1　微傳感器的理想特性及實用中的局限性
　　2.1.1　微傳感器的誤差
　　2.1.2　微傳感器的靜態(tài)特性
　　2.1.3 微傳感器的動態(tài)特性
2.2　微傳感器的標定
　　2.2.1　微傳感器標定的基本概念
　　2.2.2　精度、精密度、誤差、不確定度
　　2.2.3　微傳感器的標定與數(shù)據(jù)處理
　　2.2.4　微傳感器標定實驗的設(shè)計
　2.3　微傳感器信號的數(shù)據(jù)獲取
　　2.3.1　微傳感器的信號調(diào)理
　　2.3.2　接口與數(shù)域
　　2.3.3 電阻的檢測
　　2.3.4 電容的檢測
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　練習(xí)與思考
3　微傳感器的常用材料及加工工藝
　3.1　材料的基本知識
　　3.1.1 材料的基本物理特性
　　3.1.2 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料
　　3.1.3 MEMS常用材料
　3.2　微傳感器的常用材料
　　3.2.1 半導(dǎo)體敏感材料
　　3.2.2　敏感陶瓷材料
　　3.2.3 高分子敏感材料
　　3.2.4　磁性材料
　　3.2.5　微傳感器的封裝
　3.3 常用的微加工技術(shù)
　　3.3.1　硅的刻蝕技術(shù)
　　3.3.2　表面膜的加工工藝
　　3.3.3　硅的平面微加工工藝
　　3.3.4　三維結(jié)構(gòu)的微加工工藝
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　練習(xí)與思考
4　熱學(xué)量微傳感器
　4.1　基本知識及定義
　　4.1.1　基本的熱學(xué)量
　　4.1.2 溫度及其標定
……
5　輻射量微傳感器
6　機械量微傳感器
7　磁微傳感器
8　化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)
9　化學(xué)量微傳感器
10　微傳感器的數(shù)據(jù)獲取
參考文獻