基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及應(yīng)用

1 基本建模過程
　1.1 模型向?qū)?br />　1.2 選項與設(shè)置
　1.3 繪制幾何圖
　1.4 設(shè)置物理性質(zhì)
　1.5 耦合應(yīng)用模式
　1.6 劃分網(wǎng)格
　1.7 求解模型
　1.8 后處理分析結(jié)果
2 MEMS受激模型
　2.1 懸臂梁模型
　　2.1.1 概述
　　2.1.2 模型定義
　　2.1.3 求解結(jié)果
　　2.1.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　2.1.5 用戶圖形界面建模
　2.2 梳狀驅(qū)動器模型（Comb Drive）
　　2.2.1 概述
　　2.2.2 模型定義
　　2.2.3 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　2.2.4 結(jié)果與分析
　　2.2.5 用戶圖形界面建模
　2.3 電容性3D梳狀驅(qū)動器模型（3D Comb Drive）
　　2.3.1 概述
　　2.3.2 有關(guān)理論
　　2.3.3 結(jié)果與分析
　　2.3.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　2.3.5 用戶圖形界面建模
　2.4 微電阻梁模型（Microresistor Beam）
　　2.4.1 概述
　　2.4.2 結(jié)果與分析
　　2.4.3 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　2.4.4 用戶圖形界面建模
　2.5 預(yù)應(yīng)力微型鏡模型
　　2.5.1 概述
　　2.5.2 模型定義
　　2.5.3 結(jié)果與分析
　　2.5.4 用戶圖形界面建模
　2.6 薄膜共振的殘余應(yīng)力模型
　　2.6.1 概述
　　2.6.2 模型定義
　　2.6.3 結(jié)果與分析
　　2.6.4 用戶圖形界面建模（2D，Straight Cantilevers）
　　2.6.5 用戶圖形界面建模（2D，F(xiàn)olded Cantilevers）
　　2.6.6 用戶圖形界面建模（3D，Straight Cantilevers）
　　2.6.7 用戶圖形界面建模（3D，F(xiàn)olded Cantilevers）
　2.7 熱-機作用的微型閥模型
　　2.7.1 模型定義
　　2.7.2 應(yīng)用COMSOL Multiphsics建模
　　2.7.3 結(jié)果與分析
　　2.7.4 用戶圖形界面建模（2D）
　　2.7.5 用戶圖形界面建模（3D）
3 MEMS傳感器模型
　3.1 擠壓氣膜阻尼式加速度傳感器模型
　　3.1.1 概述
　　3.1.2 模型定義
　　3.1.3 結(jié)果與分析
　　3.1.4 用戶圖形界面建模（2D）
　　3.1.5 用戶圖形界面建模（3D）
　3.2 電容性壓力傳感器模型
　　3.2.1 概述
　　3.2.2 模型定義
　　3.2.3 結(jié)果與分析
　　3.2.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　3.2.5 用戶圖形界面建模
4 微通道流動模型
　4.1 交流動電學的增強表面反應(yīng)模型
　　4.1.1 概述
　　4.1.2 模型定義
　　4.1.3 結(jié)果與分析
　　4.1.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.1.5 用戶圖形界面建模
　4.2 動電閥中的傳輸模型
　　4.2.1 概述
　　4.2.2 模型定義
　　4.2.3 結(jié)果與分析
　　4.2.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.2.5 用戶圖形界面建模
　4.3 ALE流動-結(jié)構(gòu)相互作用模型
　　4.3.1 概述　　
　　4.3.2 模型定義
　　4.3.3 結(jié)果與分析
　　4.3.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.3.5 用戶圖形界面建模
　4.4 薄片層流混合模型
　　4.4.1 概述
　　4.4.2 模型定義
　　4.4.3 結(jié)果與分析
　　4.4.4 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.4.5 用戶圖形界面建模
　4.5 微電滲混合器模型
　　4.5.1 模型定義
　　4.5.2 結(jié)果與分析
　　4.5.3 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.5.4 用戶圖形界面建模
　4.6 星形微通道芯片模型
　　4.6.1 模型定義
　　4.6.2 結(jié)果與分析
　　4.6.3 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　4.6.4 用戶圖形界面建模
5 壓電裝置模型
　5.1 壓電陶瓷管模型
　　5.1.1 模型定義
　　5.1.2 結(jié)果與分析
　　5.1.3 應(yīng)用COMSOL Multiphysics建模
　　5.1.4 用戶圖形界面建模
　5.2 壓電式剪切驅(qū)動梁模型
　　5.2.1 模型定義
　　5.2.2 結(jié)果
　　5.2.3 應(yīng)用COMSOL Multipbysics建模
　　5.2.4 用戶圖形界面建模
　5.3 復(fù)合式壓電換能器模型
　　5.3.1 概述
　　5.3.2 結(jié)果
　　5.3.3 用戶圖形界面建模
參考文獻