絕緣體上硅（silicon on insulator，SOI）技術在高速、低壓低功耗電路、高壓電路、抗輻射、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面具有重要應用，是微電子和光電子領域發(fā)展的前沿，被國際上公認為“二十一世紀的硅集成電路技術”。本書收集的納米技術時代的高端硅基SOI材料方面的研究論文40篇，主要內容包括：SOI——納米技術時代的高端硅基材料進展，SOI新材料的制備科學，SOI材料與器件特有的物理效應，絕緣體上鍺硅（silicon germanium on insulator，SGOI）新結構和應變硅的制備科學，SOI技術的若干應用研究等。書中包含了高端硅基材料前沿領域的多方面創(chuàng)新研究成果。本書可作為微電子、光電子、微機械、半導體材料、納米材料等專業(yè)的大專院校師生和專業(yè)技術人員重要的參考書，也可以作為信息領域其他專業(yè)的師生、科研人員和工程技術人員參考資料。
作者簡介
林成魯，1965年畢業(yè)于中國科技大學近代化學系，現(xiàn)為中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所研究員、博士生導師，上海新傲科技有限公司總工程師。長期從事高端硅基半導體新材料SOI（silicon on insulator）的研究。20世紀80年代，在國內率先開展SOI技術基礎研究；90年代，作為SOI創(chuàng)新項目總設計師，組織領導突破SOI材料工程化的關鍵技術；2001年開始，作為新傲公司總工程師，為成功實現(xiàn)SOI研究成果轉化，打破國外的技術封鎖，為建成國內唯一的SOI材料工業(yè)化生產線做出了重要貢獻，實現(xiàn)了我國微電子材料的跨越式發(fā)展，取得了重大的經濟和社會效益。先后承擔國家攻關、“973”、“863”等多項國家重大項目。在國內外刊物上發(fā)表論文300余篇，被SCI收錄的論文240余篇。申請的國家發(fā)明專利19項，其中已授權12項。前后已為國家培養(yǎng)數(shù)十名研究生，所培養(yǎng)的研究生中獲全國百篇優(yōu)秀博士論文2名。曾獲得國家科技進步一等獎、中科院杰出科技成就獎等十一項獎勵。
圖書目錄
SOI——納米技術時代的高端硅基材料進展 納米技術時代的高端硅基材料——SOI、sSOI和GOI SOI技術的發(fā)展動態(tài) 硅基光電子材料和器件的進展和發(fā)展趨勢 Fabrication of SiGe-on-insulator and applications for strained Si Overview of SOI materials technology in China SOI新材料的制備科學 以注氧隔離(SIMOX)技術制備高阻SOI材料 硅中注H+引起的缺陷和應力以及剝離的機制 以AlN為絕緣埋層的新結構SOAN材料 多孔硅外延層轉移技術制備SOI材料 ELTRAN技術制備雙埋層SOIM新結構 SOI新結構——SOI研究的新動向 Fabrication of silicon．on．AlN novel structure and its residual strain characterization· Buried tungsten silicide layer in silicon on insulator substrate by Smart-cut Void—free low-temperature silicon direct—bonding technique using plasma activation Microstructure and crystallinity of porous silicon and epitaxial silicon layers fabricated on P+porous silicon Formation of silicon-on-diamond by direct bonding of plasma-synthesized diamond-like carbon to silicon Thermal stability of diamondlike carbon buried layer fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition in silicon on insulator Study of SOI substrates incorporated with buried MoSiz layer SOI材料與器件特有的物理效應 S0I MOSFET浮體效應研究 SOI MOSFET的自加熱效應研究 S0I器件的輻射效應及其在抗輻射電子學方面的應用進展 Evolution of hydrogen and helium CO-implanted single-crystal silicon during annealing …… SGOI新結構和應變硅的制備科學 SOI技術的若干應用研究
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