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內容簡介

　　《學術專著·材料科學與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術》主要講述了壓電薄膜與壓電微型器件制備技術，主要內容分為引言、上篇、下篇和后記。在引言部分，對全書內容做了總體介紹。在上篇中，介紹了薄膜材料基礎知識和基本制備方法，對當前國內壓電薄膜的研究進展做了簡單陳述，主要闡述高壓電性PzT基三元系鐵電薄膜PMnN—PZT的制備與表征。在下篇中，介紹了壓電器件的分類和聲學器件的基礎知識與進展，主要闡述了薄膜體聲波諧振器（FBAR）的理論仿真、模擬與性能優(yōu)化方法。在后記部分，對全書內容進行了總結?！秾W術專著·材料科學與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術》可作為聲學、材料學、微電子學等相關專業(yè)研究生的教學參考用書，也可供聲學、壓電學、薄膜材料和微型機電器件研究領域的科研工作人員參考。

作者簡介

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圖書目錄

引言
上篇壓電薄膜制備技術
第一章壓電薄膜基礎理論
1.1 薄膜生長與薄膜結構
1.2 壓電原理與鐵電效應
參考文獻
第二章壓電薄膜制備技術與進展
2.1 壓電薄膜的制備方法
2.2 壓電薄膜研究進展
2.3 壓電薄膜性能表征
參考文獻
第三章三元系PMnN-PZT鐵電薄膜的研究
3.1 鐵電材料發(fā)展簡介
3.2 三元系PMnN-PZT鐵電材料特性
3.3 三元系PMnN-PZT鐵電薄膜制備與性能表征
參考文獻
下篇薄膜壓電器件制備技術
第四章聲學器件原理與應用
4.1 壓電器件的分類
4.2 聲學器件原理與應用
參考文獻
第五章薄膜體聲波諧振器理論研究
5.1 薄膜體聲波諧振器的研究進展與熱點
5.2 傳輸矩陣法理論
5.3 薄膜體聲波諧振器理論仿真與模擬
參考文獻
后記

作　者：	張濤著
出版社：	西北工業(yè)大學出版社
叢編項：
標　簽：	科技其它工業(yè) 一般工業(yè)技術

ISBN：	9787561234808	出版時間：	2012-09-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	191	字數(shù)：

學術專著·材料科學與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術

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