薄膜材料科學(xué)（第2版）

　　《薄膜材料科學(xué)（第2版）》詳細(xì)介紹了涉及薄膜材料科學(xué)的各個(gè)方面，內(nèi)容包括真空技術(shù)、薄膜沉積技術(shù)與原子過程、薄膜的結(jié)構(gòu)與性能表征等。本書內(nèi)容廣泛，資料全面，各章后面附有習(xí)題，是一本真正意義上的薄膜科學(xué)與技術(shù)的教科書。該書自1992年第1版問市以來，深受材料科學(xué)界的廣泛歡迎。非常適用于從事薄膜材料研究的專業(yè)研究人員、材料類院系高年級(jí)本科生和研究生作教材或參考書。本書由中國科學(xué)院物理研究所研究員曹則賢先生特別推薦。

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