基于MEMS技術的硅脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究

第1章 概述
1.1 引言
1.2 脈象傳感器的分類和研究現(xiàn)狀
1.3 MOSFET壓力傳感器的研究現(xiàn)狀
1.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)研究現(xiàn)狀
1.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究目的和意義
1.6 主要研究內(nèi)容
第2章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的理論分析與結(jié)構設計
2.1 MOSFETs硅脈象傳感器的理論模型
2.2 MOSFETs硅脈象傳感器的理論分析
2.3 半導體材料壓阻效應基本理論
2.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器力敏結(jié)構設計
2.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器結(jié)構模型
2.6 本章小結(jié)
第3章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器管芯性能檢測封裝結(jié)構
3.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器電源激勵方式
3.4 本章小結(jié)
第4章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的實驗結(jié)果與討論
4.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)p-MOSFET特性
4.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的靜態(tài)特性研究
4.3 懸臂梁式納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的測試
4.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFE7s脈象傳感器的溫度特性
4.5 本章小結(jié)
第5章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測的系統(tǒng)設計與實測結(jié)果分析
5.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的概述
5.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)各功能模塊的設計
5.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的脈象檢測結(jié)果
5.4 采用人工神經(jīng)網(wǎng)絡處理脈象檢測結(jié)果
5.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
后記