氧化鋅薄膜材料

第一章ZnO結(jié)構(gòu)及性質(zhì)
1.1引言
1.2ZnO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)
1.3ZnO薄膜的光電特性
1.4ZnO薄膜的發(fā)光機理
1.5ZnO薄膜的研究現(xiàn)狀
1.5.1ZnO的摻雜特性和pn結(jié)的制作
1.5.2ZnO薄膜的應(yīng)用前景
1.6ZnO薄膜的制備方法
1.6.1分子束外延
1.6.2金屬有機物氣相外延
1.6.3純鋅膜氧化法
1.6.4磁控濺射法
1.6.5脈沖激光沉積法
1.6.6溶膠一凝膠法
1.6.7噴霧熱解法
1.6.8原子層外延法
參考文獻
第二章ZnO的摻雜特性
2.1引言
2.2ZnO的n型摻雜
2.2.1Al摻雜ZnO薄膜
2.2.2在有機基體上沉積ZnO:Al薄膜
2.2.3F摻雜ZnO薄膜
2.2.4Mn摻雜ZnO薄膜
2.2.5Ga摻雜ZnO薄膜
2.3ZnO的p型摻雜
2.3.1N摻雜ZnO薄膜
2.3.2P摻雜ZnO薄膜
2.3.3Ag摻雜ZnO薄膜
2.4微觀組織、結(jié)構(gòu)特性和發(fā)光性能的表征
2.5脈沖激光沉積法制備薄膜的工藝參數(shù)
2.6ZnO的N及Al、N共摻雜
參考文獻
第三章不同鋁含量沉積ZnO:Al薄膜
3.1引言
3.2Al含量對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)的影響
3.3Al含量對ZnO:Al薄膜發(fā)光性能的影響
3.4Al含量對ZnO:Al薄膜電學性能的影響
3.5基體溫度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性和透光率的影響
3.6不同Al含量對ZnO:Al薄膜透光性能的影響
3.7基體溫度對ZnO:Al薄膜發(fā)光性能的影響
參考文獻
第四章ZnO薄膜的低溫沉積
4.1引言
4.2室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)的影響
4.3室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜可見光波段透光率的影響
4.4室溫下PLD激光能量密度對ZnO:Al薄膜PL譜的影響
4.5在有機基體上沉積ZnO:Al薄膜
4.5.1氧氣壓力對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性的影響
4.5.2基體溫度對ZnO:Al薄膜結(jié)構(gòu)特性的影響
4.5.3有機基體上沉積ZnO:AJ薄膜的發(fā)光性能
參考文獻
第五章N摻雜ZnO薄膜及Al、N共摻雜
5.1引言
5.2N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的結(jié)晶性能
5.3N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的發(fā)光性能
5.4N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的電學性能
5.5N及Al、N共摻雜ZnO薄膜的XPS分析
參考文獻
第六章ZnO結(jié)型器件
6.1引言
6.2氧化鋅同質(zhì)pn結(jié)
6.3氧化鋅異質(zhì)pn結(jié)
6.3.1氧化鋅與GaN異質(zhì)結(jié)的能帶結(jié)構(gòu)
6.3.2ZnO/GaN異質(zhì)結(jié)發(fā)光二極管
參考文獻
第七章ZnO薄膜的應(yīng)用
7.1引言
7.2ZnO氣敏元件
7.3ZnO透明導電薄膜
7.4ZnO薄膜晶體管
7.5ZnO發(fā)光器件
7.6ZnO光電導紫外探測器
7.7ZnO聲表面波器件
參考文獻