TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器

第1章 氣體傳感器研究概述
1.1 半導(dǎo)體氣體傳感器簡(jiǎn)介
1.2 寬禁帶TiO2納米半導(dǎo)體材料
1.3 國(guó)內(nèi)外TiO2氣體傳感器的研究進(jìn)展
1.4 研究的目的及意義
第2章 薄膜特性分析與Si／TiO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)的能帶
2.1 TiO2的晶格結(jié)構(gòu)
2.2 氧傳感器的薄膜敏感原理
2.3 薄膜表面空間電場(chǎng)、有效空間電荷層厚度dx的相關(guān)計(jì)算（一維近似）
2.4 Si和TiO2中載流子統(tǒng)計(jì)分布情況及能帶結(jié)構(gòu)
2.5 Si／TiO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)的能帶圖
第3章 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及傳輸機(jī)制
3.1 氧傳感器的基本結(jié)構(gòu)
3.2 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器制作工藝
3.3 寬禁帶半導(dǎo)體氣體傳感器電流傳輸特性與機(jī)制
3.4 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器電流傳輸特性與機(jī)制
第4章 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜的制備
4.1 W-TiO2薄膜的制備與分析
4.2 Pt-TiO2薄膜的制備與分析
4.3 TiO2納米球殼的制備與分析
4.4 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜的TEM與sEM分析
第5章 氧傳感器性能的測(cè)定與分析
5.1 工作溫度對(duì)基準(zhǔn)電流的影響
5.2 環(huán)境濕度對(duì)基準(zhǔn)電流的影響
5.3 輸出曲線的測(cè)量
5.4 選擇性
5.5 響應(yīng)一恢復(fù)時(shí)間
參考文獻(xiàn)
后記