無驅動結構微機械陀螺及其應用

第一篇 無驅動結構機械陀螺
第1章 無驅動結構機械陀螺的數(shù)學模型
1.1 飛行中飛行器的特征
1.2 無驅動結構機械陀螺敏感元件的運動方程式
1.3 飛行器以常值角速度旋轉時陀螺的性能
1.4 無驅動結構機械陀螺系統(tǒng)方案的選擇
1.5 已知等級儀器的調(diào)節(jié)質量
1.6 帶有速度負反饋的無驅動結構機械陀螺的穩(wěn)定性
1.7 無驅動結構機械陀螺的技術性能
第2章 帶速度負反饋的無驅動結構機械陀螺的精度
2.1 繞橫軸轉動的常值角速度測量精度
2.2 無驅動結構機械陀螺的調(diào)節(jié)質量
第3章 在交變角速度條件下無驅動結構機械陀螺的性能
3.1 在角振動條件下無驅動結構機械陀螺的性能
3.2 在角振動條件下無驅動結構機械陀螺的輸出信號
3.3 飛行器的諧波角速度測量精度
3.4 在圓周振動時無驅動結構機械陀螺的性能
第4章 無驅動結構機械陀螺的工具性和運行性誤差
4.1 框架靜不平衡引起的誤差
4.2 角振動和圓周振動引起的誤差
4.3 安裝不精確產(chǎn)生的誤差
4.4 環(huán)境溫度變化產(chǎn)生的誤差
第5章 無驅動結構機械陀螺實驗研究
5.1 帶速度負反饋的無驅動結構機械陀螺技術說明
5.2 無驅動結構機械陀螺的參數(shù)和反饋參數(shù)計算
5.3 高精度三軸轉臺
5.4 帶溫箱的雙軸轉臺
5.5 頻率特性拾取的特殊性
5.6 實驗結果
5.6.1 工作能力的測量法和測量結果
5.6.2 零偏信號的測量方法和結果
5.6.3 閾值的測量方法和結果
5.6.4 輸出特性的測量方法和結果
5.6.5 輸出信號穩(wěn)定性的測量方法和結果
5.6.6 頻率特性采集的方法和結果
5.6.7 安裝不精確影響測量方法和結果
5.6.8 帶自身旋轉倍頻的角振動輸出信號影響的測量方法和結果
第二篇 無驅動結構微機械陀螺
第6章 微機械加速度計和微機械陀螺
6.1 微機械加速度計
6.1.1 微機械加速度計的基本原理、工藝類型和應用
6.1.2 微機械加速度計的工作原理
6.1.3 用體微細加工工藝制造的微機械加速度計
6.1.4 用表面微細加工工藝制造的微機械加速度計
6.1.5 力反饋
……
第7章 無驅動結構微機械陀螺的工作原理
第8章 無驅動結構微機械陀螺的誤差
第9章 無驅動結構微機械陀螺相移
第10章 無驅動結構微機械陀螺的靜態(tài)性能實驗
第三篇 無驅動結構微機械陀螺的微機械加工技術
第11章 電子材料及其加工處理
第12章 MEMs用材料及其制備
第13章 標準微電
第14章 體微機械加工
第15章 表面微機械加工
第16章 MEMS的微立體平版光刻技術
第四篇 無驅動結構微機械陀螺的應用
第17章 信號處理
第18章 飛行姿態(tài)控制系
參考文獻