等離子體技術(shù)與應(yīng)用實驗教程

定　價：￥30.00

作　者：	馬志斌，付秋明，鄭志榮著
出版社：	化學工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	等離子體物理學物理學自然科學

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ISBN：	9787122216045	出版時間：	2014-11-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	169	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《等離子體技術(shù)與應(yīng)用實驗教程》內(nèi)容涵蓋等離子體技術(shù)典型應(yīng)用和等離子體技術(shù)領(lǐng)域最新進展，把等離子體技術(shù)的理論知識與實踐教學有機結(jié)合起來，設(shè)計實驗教學體系并配套搭建等離子體技術(shù)實驗教學平臺，培養(yǎng)學生從事科研工作的興趣，提高學生的創(chuàng)新意識和能力。全書分為四大部分，第一部分為等離子體基本原理實驗，第二部分為等離子體在材料工程中的應(yīng)用，第三部分為等離子體在微電子中的應(yīng)用，第四部分為等離子體在環(huán)境工程中的應(yīng)用。本書可作為理工科院校材料、物理、化學、環(huán)境等相關(guān)專業(yè)本科生、研究生的實驗教材，也可供從事等離子體技術(shù)應(yīng)用的工程技術(shù)人員使用和參考。

作者簡介

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圖書目錄

第一部分：等離子體基本原理實驗1
實驗一直流低氣壓放電現(xiàn)象觀察及伏安曲線的測量1
實驗二氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗證10
實驗三湯森第一電離系數(shù)α及比值α/p的測定15
實驗四直流輝光放電等離子體參數(shù)的測量19
實驗五射頻等離子體的激發(fā)特性研究25
實驗六非磁化微波等離子體電子參數(shù)的測量29
實驗七 ECR微波等離子體離子參數(shù)的測量33
第二部分:等離子體在材料工程中的應(yīng)用39
實驗八微波等離子體化學氣相沉積實驗——形核研究39
實驗九微波等離子體化學氣相沉積金剛石薄膜實驗44
實驗十直流等離子體濺射制備碳膜實驗49
實驗十一微波等離子體燒結(jié)氧化鋁陶瓷實驗56
實驗十二微波等離子體冶金實驗62
實驗十三常壓微波等離子體引發(fā)聚合實驗67
實驗十四微波等離子體射流制備納米硅及其熒光特性研究72
實驗十五直流輝光等離子體表面改性實驗78
實驗十六等離子體滲氮硬化金屬表面實驗85
實驗十七微波等離子體化學氣相沉積法低溫合成碳納米管92
實驗十八納米TiO2薄膜的微波等離子體改性99
實驗十九空心微珠表面磁控濺射鍍金屬銅膜104
第三部分:等離子體在微電子中的應(yīng)用113
實驗二十 ECR微波等離子體刻蝕加工實驗113
實驗二十一微波等離子體CVD制備多晶硅薄膜太陽能電池實驗117
實驗二十二等離子體發(fā)射光譜分析實驗126
實驗二十三電子束蒸發(fā)鍍膜與薄膜光學特性分析134
第四部分：等離子體在環(huán)境工程中的應(yīng)用143
實驗二十四電暈等離子體處理有機廢水的退色實驗143
實驗二十五電暈等離子體處理對有機廢水化學需氧量(COD)的影響150
實驗二十六常壓微波等離子體射流處理有機工業(yè)廢氣實驗154
實驗二十七常壓微波等離子體射流處理含硫廢氣實驗158
實驗二十八低溫射頻等離子體殺菌消毒實驗165