半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)匯編：方法標(biāo)準(zhǔn)行標(biāo)分冊（2014版）

YS/T 15-1991 硅外延層和擴散層厚度測定 磨角染色法
YS/T 23-1992 硅外延層厚度測定 堆垛層錯尺寸法
YS/T 24-1992 外延釘缺陷的檢驗方法
YS/T 26-1992 硅片邊緣輪廓檢驗方法
YS/T 34.1-2011 高純砷化學(xué)分析方法 電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測定高純砷中雜質(zhì)含量
YS/T 34.2-2011 高純砷化學(xué)分析方法 極譜法測定硒量
YS/T 34.3-2011 高純砷化學(xué)分析方法 極譜法測定硫量
YS/T 35-2012 高純銻化學(xué)分析方法 鎂、鋅、鎳、銅、銀、鎘、鐵、硫、砷、金、錳、鉛、鉍、硅、硒含量的測定 高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜法
YS/T 37.1-2007 高純二氧化鍺化學(xué)分析方法 硫氰酸汞分光光度法測定氯量
YS/T 37.2-2007 高純二氧化鍺化學(xué)分析方法 鉬藍分光光度法測定硅量
YS/T 37.3-2007 高純二氧化鍺化學(xué)分析方法 石墨爐原子吸收光譜法測定砷量
YS/T 37.4-2007 高純二氧化鍺化學(xué)分析方法 電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定鎂、鋁、鈷、鎳、銅、鋅、銦、鉛、鈣、鐵和砷量
YS/T 37.5-2007 高純二氧化鍺化學(xué)分析方法 石墨爐原子吸收光譜法測定鐵量
YS/T 38.1-2009 高純鎵化學(xué)分析方法 第1部分：硅量的測定 鉬藍分光光度法
YS/T 38.2-2009 高純鎵化學(xué)分析方法 第2部分：鎂、鈦、鉻、錳、鎳、鈷、銅、鋅、鎘、錫、鉛、鉍量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
YS/T 226.1-2009 硒化學(xué)分析方法 第1部分：鉍量的測定 氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法
YS/T 226.2-2009 硒化學(xué)分析方法 第2部分：銻量的測定 氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法
YS/T 226.3-2009 硒化學(xué)分析方法 第3部分：鋁量的測定 鉻天青S-溴代十六烷基吡啶分光光度法
YS/T 226.4-2009 硒化學(xué)分析方法 第4部分：汞量的測定 雙硫腙-四氯化碳滴定比色法
YS/T 226.5-2009 硒化學(xué)分析方法 第5部分：硅量的測定 硅鉬藍分光光度法
YS/T 226.6-2009 硒化學(xué)分析方法 第6部分：硫量的測定 對稱二苯氨基脲分光光度法
YS/T 226.7-2009 硒化學(xué)分析方法 第？部分：鎂量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 226.8-2009 硒化學(xué)分析方法 第8部分：銅量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 226.9-2009 硒化學(xué)分析方法 第9部分：鐵量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 226.10-2009 硒化學(xué)分析方法 第10部分：鎳量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 226.11-2009 硒化學(xué)分析方法 第11部分：鉛量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 226.12-2009 硒化學(xué)分析方法 第12部分：硒量的測定 硫代硫酸鈉容量法
YS/T 226.13-2009 硒化學(xué)分析方法 第13部分：銀、鋁、砷、硼、汞、鉍、銅、鎘、鐵、鎵、銦、鎂、鎳、鉛、硅、銻、錫、碲、鈦、鋅量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
YS/T 227.1-2010 碲化學(xué)分析方法 第1部分：鉍量的測定 氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法
YS/T 227.2-2010 碲化學(xué)分析方法 第2部分：鋁量的測定 鉻天青S-溴代十四烷基吡啶膠束增溶分光光度法
YS/T 227.3-2010 碲化學(xué)分析方法 第3部分：鉛量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 227.4-2010 碲化學(xué)分析方法 第4部分：鐵量的測定 鄰菲噦啉分光光度法
YS/T 227.5 2010 碲化學(xué)分析方法 第5部分：硒量的測定 2，3-=氨基萘分光光度法
YS/T 227.6-2010 碲化學(xué)分析方法 第6部分：銅量的測定 固液分離-火焰原子吸收光譜法
YS/T 227.7-2010 碲化學(xué)分析方法 第7部分：硫量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法
YS/T 227.8-2010 碲化學(xué)分析方法 第8部分：鎂、鈉量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 227.9-2010 碲化學(xué)分析方法 第9部分：碲量的測定 重鉻酸鉀-硫酸亞鐵銨容量法
YS/T 227.10-2010 碲化學(xué)分析方法 第10部分：砷量的測定 氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法
YS/T 227.11-2010 碲化學(xué)分析方法 第11部分：硅量的測定 正丁醇萃取硅鉬藍分光光度法
YS/T 227.12 2011 碲化學(xué)分析方法 第12部分：鉍、鋁、鉛、鐵、硒、銅、鎂、鈉、砷量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法
YS/T 229.1-2013 高純鉛化學(xué)分析方法 第1部分：銀、銅、鉍、鋁、鎳、錫、鎂和鐵量的測定化學(xué)光譜法
YS/T 229.2-2013 高純鉛化學(xué)分析方法 第2部分：砷量的測定 原子熒光光譜法
YS/T 229.3-2013 高純鉛化學(xué)分析方法 第3部分：銻量的測定 原子熒光光譜法
YS/T 229.4-2013 高純鉛化學(xué)分析方法 第4部分：痕量雜質(zhì)元素含量的測定 輝光放電質(zhì)譜法
YS/T 276.1-2011 銦化學(xué)分析方法 第1部分：砷量的測定 氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法
YS/T 276.2-2011 銦化學(xué)分析方法 第2部分：錫量的測定 苯基熒光酮-溴代十六烷基三甲胺分光光度法
YS/T 276.3-2011 銦化學(xué)分析方法 第3部分：鉈量的測定 甲基綠分光光度法
YS/T 276.4-2011 銦化學(xué)分析方法 第4部分：鋁量的測定 鉻天青S分光光度法
YS/T 276.5-2011 銦化學(xué)分析方法 第5部分：鐵量的測定 方法1：電熱原子吸收光譜法方法2：火焰原子吸收光譜法
YS/T 276.6-2011 銦化學(xué)分析方法 第6部分：銅、鎘、鋅量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 276.7-2011 銦化學(xué)分析方法 第7部分：鉛量的測定 火焰原子吸收光譜法
YS/T 276.8-2011 銦化學(xué)分析方法 第8部分：鉍量的測定 方法1：氫化物發(fā)生-原子熒光光譜法 方法2：火焰原子吸收光譜法
YS/T 276.9-2011 銦化學(xué)分析方法 第9部分：銦量的測定 Na2 EDTA滴定法
YS/T 276.10-2011 銦化學(xué)分析方法 第10部分：鉍、鋁、鉛、鐵、銅、鎘、錫、鉈量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法
YS/T 276.11-2011 銦化學(xué)分析方法 第11部分：砷、鋁、鉛、鐵、銅、鎘、錫、鉈、鋅、鉍量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法
YS/T 519.1-2009 砷化學(xué)分析方法 第1部分：砷量的測定 溴酸鉀滴定法
YS/T 519.2-2009 砷化學(xué)分析方法 第2部分：銻量的測定 孔雀綠分光光度法
YS/T 519.3-2009 砷化學(xué)分析方法 第3部分：硫量的測定 硫酸鋇重量法
YS/T 519.4-2009 砷化學(xué)分析方法 第4部分：鉍、銻、硫量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)
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