現(xiàn)代薄膜材料與技術

第1章 薄膜制備的真空技術基礎
1．1 真空的基本知識
1．2 真空的獲得
1．3 真空的測量
復習思考題
參考文獻
第2章 薄膜的物理氣相沉積
2．1 真空蒸發(fā)鍍膜
2．2 濺射鍍膜
2．3 其他物理氣相沉積技術
2．4 分子束外延鍍膜技術
專題1 磁控濺射鍍膜技術
復習思考題
參考文獻
第3章 薄膜制備的化學方法
3．1 薄膜的化學和電化學轉化
3．2 薄膜的化學氣相沉積
復習思考題
參考文獻
第4章 薄膜材料的表征與評價
4．1 薄膜厚度的測量與監(jiān)控
4．2 表面成分和組織結構分析
4．3 物理和化學性能測試
4．4 力學性能測試
專題2 非晶碳膜的結構和性能表征方法
復習思考題
參考文獻
第5章 功能薄膜材料及其應用
5．1 光電薄膜
5．2 磁性薄膜
復習思考題
參考文獻
第6章 超硬薄膜材料及其應用
6．1 金剛石膜
6．2 非晶碳膜
6．3 氮化碳（CNx）薄膜
復習思考題
參考文獻