低溫塵埃等離子體

第1章 塵埃等離子體概述
1．1 塵埃等離子體簡(jiǎn)介
1．2 低溫塵埃等離子體應(yīng)用
1．3 低溫塵埃等離子體的研究方法及現(xiàn)狀
1．4 本章小結(jié)
第2章 低溫塵埃等離子體物理基礎(chǔ)
2．1 塵埃顆粒的形成和生長(zhǎng)
2．2 塵埃顆粒的充電
2．3 塵埃顆粒的受力
2．4 本章小結(jié)
第3章 硅薄膜中塵埃顆粒成核階段
3．1 概述
3．2 模型描述
3．3 模擬結(jié)果與討論
3．4 本章小結(jié)
第4章 硅薄膜中塵埃顆粒凝聚階段
4．1 概述
4．2 凝聚過(guò)程模擬
4．3 結(jié)果與討論
4．4 本章小結(jié)
第5章 甚高頻放電中塵埃顆粒生長(zhǎng)階段的二維模擬
5．1 概述
5．2 二維模型描述
5．3 模擬結(jié)果與討論
5．4 本章小結(jié)
第6章 碳薄膜中塵埃顆粒形成機(jī)制研究
6．1 概述
6．2 模型描述
6．3 模擬結(jié)果與討論
6．4 本章小結(jié)
第7章 脈沖調(diào)制射頻放電中塵埃顆粒生長(zhǎng)機(jī)制研究．
7．1 概述
7．2 模型描述
7．3 結(jié)果與討論
7．4 本章小結(jié)
第8章 結(jié)論
參考文獻(xiàn)