半導(dǎo)體光譜測試方法與技術(shù)

前言  第1章光譜學(xué)和光譜儀器的發(fā)展概況  1.1引言  1.2光譜學(xué)及其發(fā)展一瞥  1.3光譜學(xué)儀器及測量方法發(fā)展簡述  1.4小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第2章半導(dǎo)體中的光學(xué)過程  2.1引言  2.2半導(dǎo)體的基本光學(xué)參數(shù)  2.2.1折射率和吸收系數(shù)  2.2.2反射系數(shù)和透射系數(shù)  2.3半導(dǎo)體中的光吸收  2.3.1帶間本征躍遷光吸收  2.3.2其他類型光吸收  2.4半導(dǎo)體的發(fā)光  2.4.1輻射復(fù)合與非輻射復(fù)合  2.4.2自發(fā)輻射與受激輻射  2.4.3發(fā)光效率  2.5半導(dǎo)體中的光散射  2.5.1半導(dǎo)體中的光散射解釋  2.5.2拉曼散射與拉曼光譜  2.5.3布里淵散射  2.6小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第3章半導(dǎo)體研究中的光譜測試需求  3.1引言  3.2半導(dǎo)體材料研究中的光譜測試需求  3.3半導(dǎo)體器件研究中的光譜測試需求  3.4應(yīng)用研究中的光譜測試需求  3.5小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第4章分光光譜儀的組成部件及測量系統(tǒng)  4.1引言  4.2分光元件  4.2.1棱鏡分光元件及光學(xué)材料的特性  4.2.2光柵分光元件及其主要參數(shù)  4.2.3其他類型的分光元件  4.3光源  4.3.1熱光源  4.3.2氣體放電光源  4.3.3同步輻射光源與自由電子激光器  4.3.4激光光源  4.4光電探測器  4.4.1熱輻射型探測器  4.4.2量子型探測器  4.4.3陣列型探測器  4.5電子學(xué)部件及計算機  4.6樣品的冷卻及溫度控制裝置  4.7基于分光光譜儀的測量系統(tǒng)實例  4.8小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第5章傅里葉變換光譜儀及其組成部件和測量系統(tǒng)  5.1引言  5.2邁克耳孫干涉儀與傅里葉變換光譜儀  5.3傅里葉變換光譜儀的主要部件  5.3.1分束器  5.3.2光源  5.3.3光電探測器  5.3.4分束器、光源及光電探測器的組合搭配及外光路配置  5.4電子學(xué)部件、計算機及樣品冷卻裝置  5.5小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第6章透射、吸收與反射光譜測量方法及實例  6.1引言  6.2基于分光光譜儀的透射、吸收與反射光譜測量系統(tǒng)  6.3分光法測量實例  6.4基于傅里葉變換光譜儀的透射、吸收與反射光譜測量系統(tǒng)  6.5傅里葉變換測量方法及實例  6.6小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第7章光電光譜測量方法及實例  7.1引言  7.2基于分光光譜儀的光電光譜測量系統(tǒng)  7.3分光法光電光譜測量實例  7.4基于傅里葉變換光譜儀的光電光譜測量系統(tǒng)  7.5傅里葉變換光電光譜測量實例  7.6寬光譜范圍光電響應(yīng)光譜的校正  7.7小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第8章發(fā)射光譜測量方法、實例及綜合測量系統(tǒng)  8.1引言  8.2基于分光光譜儀的發(fā)射光譜測量系統(tǒng)  8.3分光法發(fā)射光譜測量實例  8.4基于傅里葉變換光譜儀的發(fā)射光譜測量系統(tǒng)及測量實例  8.5傅里葉變換光譜綜合測量系統(tǒng)的配置及實例  8.6寬波數(shù)范圍發(fā)射光譜的強度校正  8.7小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第9章拉曼光譜測量方法及實例  9.1引言  9.2拉曼光譜原理及應(yīng)用對象  9.3測試方法及儀器要求  9.4測試實例及限制因素  9.4.1利用拉曼光譜測試半導(dǎo)體材料組分  9.4.2利用拉曼光譜測試半導(dǎo)體材料應(yīng)力情況  9.4.3利用拉曼光譜測試半導(dǎo)體材料摻雜情況  9.4.4利用拉曼光譜測試半導(dǎo)體多層材料結(jié)構(gòu)  9.5小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第10章微區(qū)及掃描成像光譜測量方法及實例  10.1引言  10.2微區(qū)及掃描成像光譜應(yīng)用對象  10.3測試方法及儀器要求  10.4測試實例及限制因素  10.4.1微區(qū)光致發(fā)光譜  10.4.2微區(qū)光致發(fā)光譜與顯微X射線衍射的聯(lián)用  10.4.3微區(qū)拉曼光譜  10.4.4掃描成像光致發(fā)光譜  10.4.5掃描成像拉曼光譜  10.4.6掃描成像電致發(fā)光譜  10.4.7掃描成像時間分辨光致發(fā)光譜  10.5小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第11章時間分辨光譜測量方法及實例  11.1引言  11.2時間分辨光譜的基本原理  11.3基于時間相關(guān)單光子計數(shù)法的時間分辨光譜測量系統(tǒng)  11.3.1系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與工作過程  11.3.2儀器考慮和限制因素  11.4基于泵浦—探測法的時間分辨光譜測量系統(tǒng)  11.4.1系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與工作過程  11.4.2儀器考慮和限制因素  11.5基于條紋相機法的時間分辨光譜測量系統(tǒng)  11.5.1系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與工作過程  11.5.2儀器考慮和限制因素  11.6半導(dǎo)體時間分辨光譜測試實例  11.6.1InxGal—xN／GaN多量子阱材料的光學(xué)性質(zhì)研究  11.6.2InMnAs鐵磁薄膜中的載流子弛豫時間研究  11.6.3光子晶體納米腔激光器的超快光譜測試  11.7小結(jié)  參考文獻(xiàn)  第12章調(diào)制光譜測量方法及實例  12.1引言  12.2光調(diào)制反射光譜的測量原理  12.3光調(diào)制反射光譜的測試系統(tǒng)搭建  12.3.1基于光柵光譜儀的光調(diào)制反射光譜測試系統(tǒng)  12.3.2基于FTIR光譜儀的光調(diào)制反射光譜測試系統(tǒng)  12.3.3儀器考慮與限制因素  12.4半導(dǎo)體光調(diào)制反射光譜應(yīng)用實例  12.4.1GaAsi—xSbx單層薄膜材料的禁帶寬度  12.4.2GaSb基中紅外波段Ⅱ型量子阱的能級結(jié)構(gòu)  12.4.3GexSni—x薄膜的直接躍遷特性  12.5小結(jié)  參考文獻(xiàn)  結(jié)束語  漢英對照索引  《半導(dǎo)體科學(xué)與技術(shù)叢書》已出版書目