光學(xué)薄膜厚度的光干涉測(cè)試方法

目錄
前言
第1章 光學(xué)薄膜參數(shù)及其測(cè)量 1
1.1 薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)量 1
1.2 光學(xué)薄膜厚度的測(cè)量 7
1.2.1 輪廓儀測(cè)量法 8
1.2.2 光干涉測(cè)量法 8
參考文獻(xiàn) 11
第2章 干涉法測(cè)量薄膜厚度原理 13
2.1 干涉測(cè)量裝置 13
2.1.1 干涉儀 13
2.1.2 圖像采集與處理系統(tǒng) 14
2.1.3 軟件系統(tǒng) 15
2.2 干涉儀工作原理 15
2.3 干涉條紋圖像的采集 16
2.4 干涉測(cè)長原理 18
2.5 薄膜測(cè)試樣片制備 20
參考文獻(xiàn) 21
第3章 干涉條紋法測(cè)量薄膜厚度 22
3.1 干涉條紋法原理 22
3.2 干涉條紋小數(shù)部分重合法 24
3.3 條紋法處理單幅干涉圖方法及關(guān)鍵技術(shù) 26
3.3.1 干涉條紋小數(shù)部分的自動(dòng)讀取 26
3.3.2 干涉條紋整數(shù)部分K的確定 29
3.3.3 測(cè)量結(jié)果的修正 30
3.3.4 條紋法測(cè)量薄膜厚度的關(guān)鍵技術(shù) 31
3.4 干涉條紋法實(shí)測(cè)薄膜厚度結(jié)果分析 37
3.4.1 一號(hào)薄膜樣片的測(cè)試結(jié)果及分析 37
3.4.2 二號(hào)薄膜樣片的測(cè)試結(jié)果及分析 39
3.4.3 三號(hào)薄膜樣片的測(cè)試結(jié)果及分析 40
參考文獻(xiàn) 42
第4章 快速傅里葉變換法測(cè)量薄膜厚度 43
4.1 概述 43
4.2 FFT法測(cè)量薄膜厚度原理 44
4.2.1 基本原理 44
4.2.2 調(diào)制原理 47
4.2.3 數(shù)字化原理 48
4.3 FFT法測(cè)量薄膜厚度的關(guān)鍵技術(shù) 49
4.3.1 處理過程概述 49
4.3.2 干涉圖的預(yù)處理 50
4.3.3 波面統(tǒng)一 70
4.4 FFT法實(shí)測(cè)薄膜厚度結(jié)果分析 76
4.4.1 FFT法對(duì)一號(hào)薄膜樣片的測(cè)試處理結(jié)果及分析 77
4.4.2 FFT法對(duì)二號(hào)薄膜樣片的測(cè)試處理結(jié)果及分析 79
4.4.3 FFT法對(duì)三號(hào)薄膜樣片的測(cè)試處理結(jié)果及分析 81
參考文獻(xiàn) 83
第5章 相位偏移干涉法測(cè)量薄膜厚度 85
5.1 概述 85
5.2 相位偏移干涉法測(cè)量薄膜厚度的原理 85
5.3 相位偏移干涉法測(cè)量薄膜厚度的關(guān)鍵技術(shù) 88
5.3.1 移相器及其標(biāo)定技術(shù) 88
5.3.2 減小非線性誤差算法 96
5.3.3 波面統(tǒng)一 99
5.3.4 干涉條紋圖像波面復(fù)原 104
5.4 相位偏移干涉法實(shí)測(cè)薄膜厚度結(jié)果分析 106
5.4.1 一號(hào)樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 106
5.4.2 二號(hào)樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 112
5.4.3 三號(hào)樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 116
5.4.4 四號(hào)樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 120
5.4.5 Zygo干涉儀測(cè)量薄膜厚度實(shí)例 123
5.4.6 激光平面干涉儀測(cè)量薄膜厚度實(shí)例 126
參考文獻(xiàn) 127
第6章 數(shù)字疊柵法測(cè)量薄膜厚度 129
6.1 概述 129
6.2 數(shù)字疊柵法測(cè)量薄膜厚度的原理 130
6.2.1 原理方法 130
6.2.2 數(shù)字疊柵技術(shù)處理靜態(tài)干涉圖范例 131
6.3 數(shù)字疊柵法測(cè)量薄膜厚度的關(guān)鍵技術(shù) 133
6.3.1 移相參考干涉圖的生成 133
6.3.2 圖像濾波提取莫爾信息 134
6.3.3 波面消傾斜 140
6.4 數(shù)字疊柵法實(shí)測(cè)薄膜厚度結(jié)果分析 141
6.4.1 一號(hào)薄膜樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 141
6.4.2 二號(hào)薄膜樣片測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)分析 146
參考文獻(xiàn) 148
第7章 薄膜厚度測(cè)量的其他光干涉測(cè)試方法 149
7.1 波面錯(cuò)位干涉法測(cè)量薄膜厚度 149
7.1.1 波面錯(cuò)位的實(shí)現(xiàn)方法 150
7.1.2 錯(cuò)位干涉法測(cè)量原理 153
7.1.3 錯(cuò)位干涉法測(cè)量薄膜厚度實(shí)例 155
7.1.4 測(cè)試結(jié)果處理及分析 157
7.2 外差干涉法測(cè)量薄膜厚度 158
7.2.1 外差干涉法測(cè)量原理 158
7.2.2 外差干涉法測(cè)量薄膜厚度 160
7.3 條紋掃描法測(cè)量薄膜厚度 163
參考文獻(xiàn) 165