MEMS技術(shù)前沿與應(yīng)用發(fā)展

定　價：￥188.00

作　者：	尤政，趙嘉昊著
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：	微米納米技術(shù)叢書-MEMS與微系統(tǒng)系列
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118119473	出版時間：	2019-10-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	348	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　《MEMS技術(shù)前沿與應(yīng)用發(fā)展》是一部深入論述微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)發(fā)展前沿與應(yīng)用的專著，共分為12章。前3章從MEMS的基礎(chǔ)概念、基本方法破題，圍繞MEMS的制造、集成、測試技術(shù)加以展開，從硅／非硅微加工到封裝、集成與測試技術(shù)，并從軍事航天的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)EMS制造與集成技術(shù)進(jìn)行了分析及討論；第4章至第10章詳細(xì)介紹了慣性MEMS技術(shù)、射頻MEMS技術(shù)、微能源MEMS技術(shù)、生物MEMS技術(shù)、可穿戴／植入MEMS技術(shù)、空間MEMS技術(shù)以及極端環(huán)境應(yīng)用的MEMS技術(shù)；第11章和第12章分別討論了MEMS技術(shù)的新原理新效應(yīng)，以及MEMS技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展現(xiàn)狀?！禡EMS技術(shù)前沿與應(yīng)用發(fā)展》內(nèi)容新穎，文獻(xiàn)豐富，數(shù)據(jù)充實，適合與微米納米技術(shù)相關(guān)的MEMS、納米技術(shù)、微電子、光電子、傳感與測控等領(lǐng)域科技人員與管理者，以及高等院校相關(guān)學(xué)科的科研人員、研究生、高年級本科生等閱讀。

作者簡介

暫缺《MEMS技術(shù)前沿與應(yīng)用發(fā)展》作者簡介

圖書目錄

第1章緒論
1．1 MEMS的概念
1．2 MEMS的歷史
1．3 MEMS的特點
1．4 MEMS與lC的區(qū)別
1．5 MEMS的現(xiàn)狀及應(yīng)用領(lǐng)域
參考文獻(xiàn)
第2章 MEMS制造與集成技術(shù)
2．1 緒論
2．2 MEMS制造技術(shù)發(fā)展
2．2．1 硅微加工技術(shù)概述
2．2．2 非硅微加工技術(shù)概述
2．2．3 其他加工制造技術(shù)
2．2．4 材料制備技術(shù)
2．2．5 MEMS器件封裝技術(shù)
2．3 MEMS制造技術(shù)應(yīng)用實例
2．3．1 MEMS制造技術(shù)應(yīng)用實例
2．4 集成技術(shù)發(fā)展
2．4．1 集成技術(shù)發(fā)展
2．4．2 微納器件的三維集成
2．4．3 微納器件的系統(tǒng)集成
2．5 MEMS集成技術(shù)應(yīng)用實例
2．5．1 軍事應(yīng)用
2．5．2 航天應(yīng)用
2．5．3 生物應(yīng)用
2．5．4 產(chǎn)業(yè)進(jìn)展
2．6 MEMS制造與集成技術(shù)展望
2．7 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第3章 MEMS測試技術(shù)
3．1 緒論
3．2 測試技術(shù)發(fā)展歷程
3．2．1 測試技術(shù)歷史回顧
3．2．2 測試技術(shù)的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀
3．3 測試技術(shù)發(fā)展關(guān)鍵技術(shù)
3．4 測試技術(shù)應(yīng)用實例
3．4．1 MEMS繼電器測試
3．4．2 MEMS掃描微鏡測試
3．5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第4章慣性MEMS技術(shù)
4．1 緒論
4．2 MEMS加速度計
4．2．1 單軸電容檢測式MEMS加速度計
4．2．2 三軸電容檢測式MEMS加速度計
4．2．3 其他檢測方式的MEMS加速度計
4．3 MEMS陀螺
4．3．1 振動式MEMS陀螺
4．3．2 轉(zhuǎn)子式微陀螺
4．3．3 微光機電陀螺
4．4 微慣性測量單元
4．4．1 微組裝慣性測量單元
4．4．2 單片集成慣性測量單元
4．5 慣性器件發(fā)展趨勢
4．6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第5章 RF MEMS技術(shù)
5．1 緒論
5．2 技術(shù)發(fā)展
5．2．1 RF MEMS開關(guān)的研究
5．2．2RF MEMS移相器的研究
……
第6章微能源MEMS技術(shù)
第7章 Bio-MEMS技術(shù)
第8章可穿戴／植入MEMS技術(shù)
第9章空間MEMS技術(shù)
第10章極端環(huán)境MEMS技術(shù)
第11章 MEMS的新原理和新效應(yīng)
第12章 MEMS產(chǎn)業(yè)化
參考文獻(xiàn)