微納運(yùn)動實現(xiàn)技術(shù)

第1章緒論（1）
1.1微納技術(shù)的理解（1）
1.2微納技術(shù)的應(yīng)用（3）
1.3微納運(yùn)動實現(xiàn)技術(shù)及進(jìn)展（22）
第2章智能材料微納驅(qū)動技術(shù)（31）
2.1概述（31）
2.2形狀記憶合金微納驅(qū)動技術(shù)（32）
2.3超磁致伸縮材料微納驅(qū)動技術(shù)（38）
2.4壓電陶瓷微納驅(qū)動技術(shù)（41）
2.5熱微納機(jī)電驅(qū)動技術(shù)（50）
第3章微納運(yùn)動的傳感檢測（54）
3.1概述（54）
3.2微納位移傳感技術(shù)（54）
3.3激光干涉微納檢測技術(shù)（74）
3.4其他先進(jìn)微納檢測技術(shù)（80）
第4章微納運(yùn)動控制技術(shù)（83）
4.1概述（83）
4.2常用微納運(yùn)動控制策略（83）
4.3其他先進(jìn)控制策略及研究（100）
第5章直線電機(jī)微納運(yùn)動系統(tǒng)技術(shù)（103）
5.1概述（103）
5.2電磁式直線電機(jī)微納運(yùn)動系統(tǒng)（104）
5.3壓電超聲電機(jī)微納運(yùn)動系統(tǒng)（110）
第6章宏微復(fù)合微納運(yùn)動實現(xiàn)技術(shù)（120）
6.1概述（120）
6.2宏微復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)（121）
6.3宏微復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)的非線性影響及控制（124）
6.4宏微復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)應(yīng)用（135）
第7章宏宏復(fù)合微納運(yùn)動實現(xiàn)技術(shù)（138）
7.1宏宏復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)工作原理（138）
7.2宏宏復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)的動力學(xué)模型（144）
7.3宏宏復(fù)合微納運(yùn)動系統(tǒng)的低速特性（152）
參考文獻(xiàn)（164）