氣相沉積薄膜強(qiáng)韌化技術(shù)

　　本書重點(diǎn)介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學(xué)基金、國防預(yù)研基金、重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金等一系列基礎(chǔ)研究項(xiàng)目的支持下，在物理氣相沉積硬質(zhì)薄膜強(qiáng)韌化方法、理論、表征及強(qiáng)韌化薄膜應(yīng)用領(lǐng)域的研究成果。主要論述了如何制備和表征具有強(qiáng)、韌性能的薄膜，包括薄膜的制備方法，薄膜強(qiáng)化技術(shù)，薄膜韌化技術(shù)，薄膜的強(qiáng)韌性能表征，薄膜內(nèi)應(yīng)力，強(qiáng)韌化薄膜實(shí)例。

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