納米集成電路FinFET器件物理與模型

譯者序
前言
作者簡介
第1章 概述
1.1 鰭式場效應晶體管（FinFET）
1.2 集成電路制造中的MOSFET器件概況
1.2.1 納米級MOSFET縮小的挑戰(zhàn)
1.2.1.1 短溝道MOSFET中的泄漏電流
1.2.1.2 MOSFET性能波動
1.2.2 MOSFET縮小難題的物理機理
1.3 替代器件概念
1.3.1 無摻雜或輕摻雜溝道MOSFET
1.3.1.1 深耗盡溝道MOSFET
1.3.1.2 埋暈MOSFET
1.3.2 薄體場效應晶體管
1.3.2.1 單柵超薄體場效應晶體管
1.3.2.2 多柵場效應晶體管
1.4 VLSI電路和系統(tǒng)中的FinFET器件
1.5 FinFET器件簡史
1.6 小結(jié)
參考文獻
第2章 半導體物理基礎
2.1 簡介
2.2 半導體物理
2.2.1 能帶模型
2.2.2 載流子統(tǒng)計
2.2.3 本征半導體
2.2.3.1 本征載流子濃度
2.2.3.2 電子和空穴的有效質(zhì)量
2.2.4 非本征半導體
2.2.4.1 非本征半導體中的費米能級
2.2.4.2 簡并摻雜半導體中的費米能級
2.2.4.3 半導體中的靜電勢和載流子濃度
2.2.4.4 準費米能級
2.2.5 半導體中的載流子輸運
2.2.5.1 載流子漂移：載流子在電場中的運動
2.2.5.2 載流子擴散
2.2.6 載流子的產(chǎn)生-復合
2.2.6.1 注入水平
2.2.6.2 復合過程
2.2.7 半導體基本方程
2.2.7.1 泊松方程
2.2.7.2 傳輸方程
2.2.7.3 連續(xù)性方程
2.3 n型和p型半導體接觸理論
2.3.1 pn結(jié)的基本特征
2.3.2 內(nèi)建電勢差
2.3.3 突變結(jié)
2.3.3.1 靜電學
2.3.4 外加偏壓下的pn結(jié)
2.3.4.1 單邊突變結(jié)
2.3.5 pn結(jié)上的載流子輸運
2.3.5.1 少數(shù)載流子濃度與結(jié)電勢的關系
2.3.6 pn結(jié)I-V特性
2.3.6.1 pn結(jié)泄漏電流的溫度依賴性
2.3.6.2 pn結(jié)電流方程的局限性
2.3.6.3 體電阻
2.3.6.4 結(jié)擊穿電壓
2.3.7 pn結(jié)動態(tài)特性
2.3.7.1 結(jié)電容
2.3.7.2 擴散電容
2.3.7.3 小信號電導
2.3.8 pn結(jié)等效電路
2.4 小結(jié)
參考文獻
第3章 多柵金屬-氧化物-半導體（MOS）系統(tǒng)
3.1 簡介
3.2 平衡態(tài)下多柵MOS電容器
3.2.1 孤立的金屬、氧化物和半導體材料的特性
3.2.1.1 功函數(shù)
3.2.2 接觸形成MOS系統(tǒng)中的金屬、氧化物和半導體材料
3.2.2.1 金屬柵功函數(shù)位于硅帶隙邊緣的MOS系統(tǒng)
3.2.2.2 金屬柵功函數(shù)位于硅帶隙中央的MOS系統(tǒng)
3.2.3 氧化層電荷
3.2.3.1 界面陷阱電荷
3.2.3.2 固定氧化層電荷
3.2.3.3 氧化層陷阱電荷
3.2.3.4 可動離子電荷
3.2.4 氧化層電荷對能帶結(jié)構(gòu)的影響：平帶電壓
3.2.5 表面勢
3.3 外加偏壓下的MOS電容器
3.3.1 積累
3.3.2 耗盡
3.3.3 反型
3.4 多柵MOS電容器系統(tǒng)：數(shù)學分析
3.4.1 泊松方程
3.4.2 靜電勢和電荷分布
3.4.2.1 半導體中的感生電荷
3.4.2.2 表面勢公式
3.4.2.3 閾值電壓
3.4.2.4 表面勢函數(shù)
3.4.2.5 反型電荷密度的統(tǒng)一表達式
3.5 量子力學效應
3.6 小結(jié)
參考文獻
第4章 FinFET器件工藝概述
4.1 簡介
4.2 FinFET制造工藝
4.3 體FinFET制造
4.3.1 起始材料
4.3.2 阱的形成
4.3.2.1 p阱的形成
4.3.2.2 n阱的形成
4.3.3 Fin圖形化：間隔層刻蝕技術
4.3.3.1 芯軸圖形化
4.3.3.2 氧化物間隔層形成
4.3.3.3 硅Fin形成
4.3.4 非傳統(tǒng)的阱形成工藝
4.3.5 柵極定義：多晶硅dummy柵形成
4.3.6 源漏延伸工藝
4.3.6.1 nFinFET源漏延伸形成
4.3.6.2 pFinFET源漏延伸形成
4.3.7 凸起源漏工藝
4.3.7.1 SiGepFinFET凸起源漏形成
4.3.7.2 SiCnFinFET凸起源漏形成
4.3.7.3 凸起源漏硅化
4.3.8 替代金屬柵形成
4.3.8.1 多晶硅dummy柵去除
4.3.8.2 高k柵介質(zhì)淀積
4.3.8.3 金屬柵形成
4.3.9 自對準接觸形成
4.3.9.1 金屬化
4.4 SOI-FinFET工藝流程
4.4.1 起始材料
4.4.2 Fin圖形化：間隔層刻蝕技術
4.4.2.1 芯軸圖形化
4.4.2.2 氧化物間隔層形成
4.4.2.3 硅Fin形成
4.4.3 體硅FinFET與SOI-FinFET制造工藝比較
4.5 小結(jié)
參考文獻
第5章 大尺寸FinFET器件工作原理
5.1 簡介
5.2 FinFET器件的基本特征
5.3 FinFET器件工作
5.4 漏極電流公式
5.4.1 靜電勢的推導
5.4.2 對稱DG-FinFET的連續(xù)漏極電流方程
5.4.3 對稱DG-FinFET的區(qū)域漏極電流公式
5.4.3.1 閾值電壓公式
5.4.3.2 線性區(qū)Ids方程
5.4.3.3 飽