慣性傳感器技術(shù)

第1章 緒論
1．1 慣性傳感器的基本概念及物理基礎(chǔ)
1．1．1 加速度計的物理基礎(chǔ)
1．1．2 陀螺儀的物理基礎(chǔ)
1．2 慣性傳感器的典型應(yīng)用
1．2．1 慣性導(dǎo)航
1．2．2 制導(dǎo)控制回路
1．2．3 慣性姿態(tài)測量
1．2．4 慣性姿態(tài)穩(wěn)定
1．2．5 高過載檢測
1．3 慣性傳感器的發(fā)展概況
1．3．1 加速度計
1．3．2 機械轉(zhuǎn)子陀螺
1．3．3 振動陀螺
1．3．4 光學(xué)陀螺
1．3．5 新型陀螺
思考題
參考文獻
第2章 加速度計
2．1 加速度計的基本原理
2．1．1 比力與加速度
2．1．2 擺式加速度計基本原理
2．1．3 振動式加速度計基本原理
2．2 石英撓性加速度計
2．2．1 石英撓性加速度計的組成結(jié)構(gòu)與部件功能
2．2．2 信號檢測與處理過程
2．2．3 石英撓性加速度計的誤差模型
思考題
參考文獻
第3章 MEMS加速度計
3．1 MEMS加速度計基礎(chǔ)理論
3．1．1 機械靈敏度
3．1．2 帶寬
3．1．3 機械熱噪聲
3．2 MEMS加速度計信號轉(zhuǎn)換方式
3．2．1 電容檢測式MEMS加速度計
3．2．2 壓電檢測式MEMS加速度計
3．2．3 壓阻檢測式MEMS加速度計
3．2．4 隧道電流檢測式MEMS加速度計
3．2．5 諧振式MEMS加速度計
3．3 電容式MEMS加速度計信號檢測技術(shù)
3．3．1 微弱電容檢測原理
3．3．2 閉環(huán)檢測技術(shù)
3．4 蝶翼式MEMS加速度計
3．4．1 蝶翼式MEMS加速度計結(jié)構(gòu)設(shè)計及工作原理
3．4．2 蝶翼式MEMS加速度計加工工藝
3．4．3 蝶翼式MEMS加速度計性能測試
思考題
參考文獻
……
第4章 機械轉(zhuǎn)子陀螺
第5章 振動式MEMS陀螺
第6章 光學(xué)陀螺
第7章 新型慣性傳感器技術(shù)
第8章 慣性傳感器的精度測試與環(huán)境試驗