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內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　傳感器在當(dāng)代科學(xué)技術(shù)中占有十分重要的地位，所有以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的自動(dòng)化、智能化系統(tǒng)，都需要傳感器提供賴以做出實(shí)時(shí)決策的數(shù)據(jù)。近年來(lái)傳感器技術(shù)發(fā)展非常迅速，非常明顯的發(fā)展趨勢(shì)是：沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應(yīng)，優(yōu)先使用晶體材料，采用微機(jī)械加工工藝和微電子技術(shù)，從傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向微機(jī)械加工工藝的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，研制各種新型傳感器及傳感器系統(tǒng)，以滿足體積、質(zhì)量、功耗及動(dòng)、靜態(tài)特性等方面的要求。本教材正是基于這一發(fā)展趨勢(shì)構(gòu)思、選材編著的。本教材簡(jiǎn)要介紹了新型傳感技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)、傳感技術(shù)中的一些共性基礎(chǔ)問(wèn)題；重點(diǎn)介紹了傳感器技術(shù)中采用的先進(jìn)材料、以硅材料為重點(diǎn)的先進(jìn)制造技術(shù)；重點(diǎn)介紹了一些具有代表性的傳感器敏感結(jié)構(gòu)的建模和模擬計(jì)算方法；介紹了多類具有代表性的傳感器的檢測(cè)原理及應(yīng)用。本教材可作為儀器科學(xué)與技術(shù)、控制科學(xué)與工程、機(jī)械工程、物聯(lián)網(wǎng)工程等領(lǐng)域的高年級(jí)本科生、研究生的教材，也可供有關(guān)的工程技術(shù)人員參考。