集成微納系統(tǒng)的前沿技術(shù)

　　微電子學(xué)是一門發(fā)展十分迅猛的學(xué)科，同時也是與新興的納米技術(shù)等結(jié)合十分緊密的交叉學(xué)科，因此越來越具有在尺度上是跨微米向納米甚至是深亞納米發(fā)展、在功能上是向著電子、機械以及生物等系統(tǒng)功能的集成方向發(fā)展，同時這也是一門十分典型的實驗學(xué)科，需要結(jié)合大量的實驗動手才能夠掌握其精髓。所以我們的課程是《集成微納系統(tǒng)實驗班》，這本教材和課程的主旨一樣：主要針對微電子學(xué)的發(fā)展及時補充完善微電子學(xué)的范疇、同時結(jié)合實驗教程來增進(jìn)學(xué)生的感性認(rèn)識、培養(yǎng)學(xué)生的動手能力，彌補絕大多數(shù)同類教材只講授知識、不關(guān)注實驗?zāi)芰η也患皶r更新其發(fā)展、不配有相應(yīng)習(xí)題的不足，為學(xué)生和老師提供一本能夠全面準(zhǔn)確掌握微電子基礎(chǔ)知識和能力的教科書。

　　張海霞：：：：：：：張海霞，教授，北京大學(xué)微電子研究院?，F(xiàn)任全球華人微納米分子系統(tǒng)學(xué)會秘書長，全球華人微米納米技術(shù)合作網(wǎng)絡(luò)執(zhí)行主席，IEEE NTC北京分會主席等。張曉升：：：：：：：張曉升，教授，博士生導(dǎo)師，智能集成微系統(tǒng)實驗室負(fù)責(zé)人。省青年科技創(chuàng)新研究團(tuán)隊負(fù)責(zé)人。長期在微納電子機械系統(tǒng)（MEMS/NEMS）領(lǐng)域開展研究工作，在批量化微納復(fù)合制造、新型微納電子器件、自驅(qū)動智能微納系統(tǒng)等重要前沿方向上開展了深入的研究工作，取得了一系列創(chuàng)新研究成果，解決了微納電子器件系統(tǒng)的可控制造和集成一體化的若干難題。楊卓青：：：：：：：楊卓青，教授，博士生導(dǎo)師，上海交通大學(xué)研究員。，研究工作主要包括MEMS慣性開關(guān)器件、PowerMEMS、納米能源、封裝以及超細(xì)柔性纖維/圓管/毛細(xì)管等表面的3D MEMS集成制造技術(shù)等。先后主持國家自然科學(xué)青年基金、面上項目，國家重點研發(fā)計劃課題，國家“863”項目子課題，裝備預(yù)研聯(lián)合基金等項目。