集成電路先進(jìn)工藝制造

　　集成電路是現(xiàn)代電子技術(shù)的核心，隨著集成電路產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，對(duì)專業(yè)人才的需求正急劇上升。本書從集成電路制造的工藝、設(shè)備、廠務(wù) 3 個(gè)關(guān)鍵內(nèi)容出發(fā)，融合了集成電路制造的理論基礎(chǔ)和前沿實(shí)踐技術(shù)，深入淺出地探討了集成電路制造的全過程。通過大量工藝設(shè)備的使用案例分析、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、設(shè)備操作標(biāo)準(zhǔn)程序和教學(xué)實(shí)踐視頻，幫助讀者掌握實(shí)際操作。此外，在介紹當(dāng)前主流制造技術(shù)的同時(shí)，還深入講解了產(chǎn)業(yè)界量產(chǎn)設(shè)備的基本原理、動(dòng)力需求和應(yīng)用實(shí)踐。上海科技大學(xué)材料器件中心聚焦集成電路先進(jìn)制造領(lǐng)域卓越工程師的人才培養(yǎng)任務(wù)，依托先進(jìn)一流的設(shè)備資源、資深工程師團(tuán)隊(duì)，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)界專家，將集成電路先進(jìn)制造理論與實(shí)踐有機(jī)結(jié)合，精心打造本書，旨在為讀者提供全面、深入且實(shí)用的學(xué)習(xí)資料。本書不僅適用于本科生、研究生，對(duì)從事集成電路制造工作的專業(yè)工程師和技術(shù)人員也具有參考價(jià)值。

　　陸衛(wèi)上海科技大學(xué)教授，上海科技大學(xué)物質(zhì)科學(xué)與技術(shù)學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)、中國(guó)空間科學(xué)學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)。曾任中國(guó)科學(xué)院紅外物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任和中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所所長(zhǎng)。曾于 1996 年獲國(guó)家杰出青年基金資助，并主持國(guó)家自然科學(xué)基金委創(chuàng)新群體項(xiàng)目和國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目 （ 部門推薦 ）。研究方向?yàn)楣怆娮硬牧吓c器件及其相關(guān)凝聚態(tài)物理、光子晶體及其光電技術(shù)中的應(yīng)用。獲得國(guó)家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)、國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、求是杰出青年科學(xué)家獎(jiǎng)等諸多獎(jiǎng)項(xiàng)。在Science 等國(guó)際學(xué)術(shù)學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表論文 300 余篇，授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利 40 多項(xiàng)，出版《半導(dǎo)體量子器件物理》等專著 2 部。宋艷汝上海科技大學(xué)材料器件中心助理主任、技術(shù)負(fù)責(zé)人、副研究員。從事超導(dǎo)光電探測(cè)器及超導(dǎo)工藝技術(shù)研發(fā)。入選 2020 年上海市浦江人才計(jì)劃、 2024 年上海市科委探索者計(jì)劃， 獲得 2022—2023 年上海市大型科學(xué)儀器設(shè)施“共享服務(wù)（技術(shù)類）先進(jìn)個(gè)人”稱號(hào)、2024 年全國(guó)光學(xué)與光學(xué)工程博士生學(xué)術(shù)聯(lián)賽“全國(guó)百?gòu)?qiáng)導(dǎo)師”稱號(hào)、2024 年上海市浦東新區(qū)明珠計(jì)劃“明珠工程師”稱號(hào)。在 Nature Communication、 Physical Review Letter、 Light：Science & Applications 等國(guó)際學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表論文數(shù)十篇，授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利近 10 項(xiàng)。主講量子材料與微納器件制造技術(shù)等實(shí)踐類集成電路先進(jìn)工藝制造等課程。