納米計量基礎與應用

第1章 緒論　　001
第2章 納米計量　　003
2.1  納米計量的溯源與傳遞　  004
2.1.1　納米量值的溯源　  004
2.1.2　納米量值的傳遞　  006
2.2  納米檢測技術的發(fā)展　  008
2.2.1　光學顯微鏡　  009
2.2.2　掃描探針顯微鏡　  010
2.2.3　電子顯微鏡　  012
2.3  納米幾何量計量體系　  014
2.3.1　計量基準組成　  016
2.3.2　納米幾何量計量標準　  023
2.4  國內(nèi)外納米計量領域相關委員會　  028
2.4.1　納米計量領域國外計量技術委員會　  028
2.4.2　納米計量領域國內(nèi)計量技術委員會　  029
2.4.3　納米計量領域國外標準化委員會　  029
2.4.4　納米計量領域國內(nèi)標準化委員會　  029
第3章 納米檢測技術　　031
3.1  光學顯微成像技術　  031
3.1.1　白光干涉儀　  031
3.1.2　激光共聚焦顯微鏡　  034
3.1.3　X射線衍射儀　  036
3.1.4　橢偏儀　  038
3.1.5　動態(tài)光散射　  040
3.2   掃描探針顯微技術　  043
3.2.1　掃描隧道顯微鏡　  043
3.2.2　原子力顯微鏡　  046
3.2.3　磁力顯微鏡　  050
3.2.4　靜電力顯微鏡　  051
3.2.5　橫向力顯微鏡　  053
3.2.6　觸針式臺階儀　  054
3.3  電子束顯微技術　  055
3.3.1　透射電子顯微鏡　  055
3.3.2　掃描電子顯微鏡　  059
3.4  納米位移測量技術　  061
3.4.1　激光干涉系統(tǒng)　  061
3.4.2　電容測微系統(tǒng)　  063
3.4.3　電感測微儀　  064
第4章 先進制造產(chǎn)業(yè)應用示范　　067
4.1  平板顯示領域　  067
4.1.1　建立平板顯示微納幾何參數(shù)量值溯源體系　  068
4.1.2　提供薄膜關鍵參數(shù)計量檢測解決方案　  071
4.1.3　解決測量設備的在線校準難題　  072
4.1.4　助推企業(yè)對顯示器質量進行評定　  073
4.2  空氣凈化領域　  074
4.2.1　自主研發(fā)表面塵埃粒子計數(shù)器　  074
4.2.2　超高效過濾器檢測用納米微球制備及定值研究　  076
4.2.3　提供潔凈室等級適用性評價方案　  078
4.2.4　提供凈化器濾材微觀形貌表征方案　  080
4.3  納米制造領域　  082
4.3.1　定值色譜納米芯　  082
4.3.2　SERS芯片微納結構定值技術　  084
4.3.3　提供超導材料制造關鍵參數(shù)計量解決方案　  086
4.3.4　提供流式細胞儀量值溯源方案　  087
4.4  精密加工領域　  089
4.4.1　助力汽摩部件質量提升　  089
4.4.2　助力汽車塑料電鍍零件檢測　  091
4.4.3　確定非規(guī)則微觀結構的準確定值技術　  092
4.4.4　解決三維顯微鏡橫向示值誤差的校準　  094
4.5   服務公共測試平臺　  097
4.5.1　提供微量痕跡的高精度計量解決方案　  097
4.5.2　助力高校微納米材料幾何尺寸技術研究　  098
4.5.3　協(xié)助提升食品、化妝品安全的研判能力　  099
第5章 生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)應用示范　　101
5.1  藥物注冊及仿制藥一致性評價領域　  102
5.1.1　藥物顆粒粒徑檢測　  102
5.1.2　粉體藥物比表面積分析　  104
5.1.3　固體骨架密度測定　  106
5.2  納米藥物研究領域　  108
5.2.1　智能前藥納米粒微觀形態(tài)　  110
5.2.2　碳量子點負載　  112
5.2.3　DNA折紙術表征　  114
5.2.4　DNA修飾金電極表征　  117
5.3  醫(yī)療器械領域　  120
5.3.1　醫(yī)療器械唯一標識的高度溯源　  120
5.3.2　醫(yī)療器械產(chǎn)品幾何結構參數(shù)的精密測量　  121
5.3.3　醫(yī)用魯爾量規(guī)尺寸的無損檢測　  123
5.3.4　激光共聚焦顯微鏡的量值溯源　  126
5.3.5　研究級透反射正置材料顯微鏡的溯源　  127
5.4    公共安全領域　  129
5.4.1　化學藥藥用玻璃包裝的脫片研究　  129
5.4.2　公安刑偵痕量生物檢材的X射線能譜鑒定　  131
第6章 微電子與集成電路產(chǎn)業(yè)應用示范　　135
6.1  元器件研制領域　  136
6.1.1　測溫儀核心傳感器的研制　  136
6.1.2　石墨烯納米復合電極材料超級電容器開發(fā)研究　  138
6.1.3　石墨烯微流控芯片傳感器研發(fā)　  140
6.2  關鍵參數(shù)測量領域　  142
6.2.1　半導體行業(yè)線寬量值溯源　  143
6.2.2　半導體器件薄層材料關鍵參數(shù)量值溯源　  145
6.2.3　電子互聯(lián)中臺階高度關鍵參數(shù)量值溯源　  146
6.2.4　微電子元器件微觀形貌特征參數(shù)計量　  147
6.2.5　微電子產(chǎn)業(yè)金屬覆蓋層測量量值溯源　  148
6.3  失效分析領域　  150
6.3.1　助力印制電路板失效分析檢測　  150
6.3.2　提升微納尺度集成電路產(chǎn)品良率　  152
6.3.3　解決錫膏測厚儀溯源問題　  154
參考文獻　　158
致謝　　164